描(miao)述：HTRS-1000型高(gao)溫(wen)半導(dao)體材(cai)料電(dian)阻率測試(shi)儀主要(yao)用(yong)於(yu)半導(dao)體材(cai)料導(dao)電(dian)性能的評(ping)估(gu)和(he)測試(shi)，該系統采用(yong)四(si)線電(dian)阻法(fa)測量(liang)原理(li)進(jin)行(xing)設(she)計(ji)開發(fa)，可以(yi)在(zai)高(gao)溫、真空氣(qi)氛(fen)的條件(jian)下測量(liang)半導(dao)體材(cai)料電(dian)阻和(he)電(dian)阻率，可以(yi)分(fen)析(xi)被(bei)測樣(yang)品(pin)電(dian)阻和(he)電(dian)阻率隨(sui)溫度(du)、時間(jian)變(bian)化的曲線。目(mu)前主要(yao)針(zhen)對圓片、方(fang)塊(kuai)、長(chang)條等測試(shi)樣品(pin)進(jin)行(xing)測試(shi)，可以(yi)廣泛(fan)用(yong)於(yu)半導(dao)體材(cai)料矽（si）、鍺（ge）,化合物半導(dao)體材(cai)料砷化鎵（GaAs）、銻(ti)化銦（InSb），三元(yuan)化合物半導(dao)

HTRS-1000型(xing)高溫半導(dao)體材(cai)料電(dian)阻率測試(shi)儀

       HTRS-1000型(xing)高溫半(ban)導(dao)體材(cai)料電(dian)阻率測試(shi)儀主要(yao)用(yong)於(yu)半導(dao)體材(cai)料導(dao)電(dian)性能的評(ping)估(gu)和(he)測試(shi)，該系統采用(yong)四(si)線電(dian)阻法(fa)測量(liang)原理(li)進(jin)行(xing)設(she)計(ji)開發(fa)，可以(yi)在(zai)高(gao)溫、真空氣(qi)氛(fen)的條件(jian)下測量(liang)半導(dao)體材(cai)料電(dian)阻和(he)電(dian)阻率，可以(yi)分(fen)析(xi)被(bei)測樣(yang)品(pin)電(dian)阻和(he)電(dian)阻率隨(sui)溫度(du)、時間(jian)變(bian)化的曲線。目(mu)前主要(yao)針(zhen)對圓片、方(fang)塊(kuai)、長(chang)條等測試(shi)樣品(pin)進(jin)行(xing)測試(shi)，可以(yi)廣泛(fan)用(yong)於(yu)半導(dao)體材(cai)料矽（si）、鍺（ge）,化合物半導(dao)體材(cai)料砷化鎵(GaAs)、銻(ti)化銦（InSb），三元(yuan)化合物半導(dao)體GaAsAl、GaAsP，固溶(rong)體(ti)半(ban)導(dao)體，如(ru)Ge-Si、GaAs-GaP等的塊(kuai)體(ti)材(cai)料的電(dian)阻率測量(liang)等材(cai)料的電(dian)阻率測量(liang)。

壹(yi)、產(chan)品(pin)特點(dian) 

1、設(she)備集成(cheng)度高(gao)，壹(yi)體(ti)化設(she)計(ji)，精密(mi)測量(liang)。

2、1000度的高溫(wen)爐膛(tang)，耐(nai)高溫、抗(kang)氧(yang)化的測試(shi)夾(jia)具(ju)，測量(liang)精準(zhun)無誤

3、鉑(bo)銥合金材(cai)料測試(shi)探頭(tou)，抗(kang)氧(yang)化，經久(jiu)耐(nai)用(yong)。

4、控溫(wen)精度達(da)到(dao)±0.5℃，溫(wen)度(du)、時間(jian)曲線直(zhi)觀

5、常(chang)溫、高溫(wen)、真(zhen)空(kong)、流動氣(qi)氛(fen)等多(duo)種(zhong)試(shi)驗環(huan)境

6、各(ge)種(zhong)樣品(pin)均(jun)可測試(shi)：單樣(yang)品(pin)塊(kuai)體(ti)測量(liang)夾(jia)具(ju)，針(zhen)對圓片、方(fang)塊(kuai)、長(chang)條等樣(yang)品(pin)

7、自(zi)動保(bao)壓(ya)，防(fang)止(zhi)擊(ji)穿(chuan)

二(er)、主要(yao)技(ji)術(shu)參(can)數(shu)：
溫(wen)度(du)範(fan)圍(wei)：RT-1000℃
升(sheng)溫斜(xie)率：0-10℃/min (典(dian)型值(zhi)：3℃/min)
控(kong)溫(wen)精(jing)度(du)：±0.1℃
電(dian)阻測量(liang)範(fan)圍(wei)：0.1mΩ~1MΩ
電(dian)阻率測量(liang)範(fan)圍(wei)：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量(liang)環(huan)境：惰(duo)性氣(qi)氛(fen)、還原氣(qi)氛(fen)、真(zhen)空(kong)氣(qi)氛(fen)
測量(liang)方(fang)法：四(si)線電(dian)阻法(fa)，探針(zhen)法
測試(shi)通道(dao)：單通道(dao)或是(shi)雙通道(dao)
樣品(pin)尺(chi)寸(cun)：10mmx10mmX20mm或(huo)φ＜20mm ,d＜5mm
電(dian)極(ji)材(cai)料：鉑(bo)銥合金電(dian)極(ji)（耐(nai)高溫，抗(kang)氧(yang)化）
絕(jue)緣材(cai)料：99氧(yang)化鋁陶(tao)瓷(ci)
數據(ju)存(cun)儲(chu)格(ge)式(shi)：自(zi)動分(fen)析(xi)數(shu)據(ju)，可以(yi)分(fen)類(lei)保(bao)存(cun)，樣(yang)品(pin)和(he)測量(liang)方(fang)案結合在(zai)壹(yi)起(qi)，生成(cheng)系統所(suo)需(xu)的實(shi)驗方(fang)案，輸(shu)出(chu)TXT、XLS、BMP等格(ge)式(shi)文(wen)件(jian)

數(shu)據(ju)傳(chuan)輸(shu)：USB
符(fu)合標(biao)準(zhun)：ASTM
供電(dian)：220V±10%，50Hz
工(gong)作溫(wen)度：5℃ 至(zhi) + 40 ℃；

工(gong)作濕(shi)度：+40 ℃ 時，相(xiang)對濕(shi)度高達(da) 95%（無冷凝(ning)）
設(she)備尺(chi)寸(cun)： L360mm*W370mm*H510mm
重量：22kg