描(miao)述：JKZC-GSTS08氣(qi)體(ti)傳感(gan)器陣(zhen)測試系統(tong)主(zhu)要完成(cheng)氣體(ti)敏(min)感(gan)材(cai)料(liao)及(ji)氣(qi)敏(min)傳感(gan)器器(qi)件的(de)性(xing)能(neng)檢(jian)測和評(ping)價，適(shi)用(yong)氣(qi)體(ti)範圍包括常(chang)溫(wen)是(shi)氣態(tai)的(de)氣體和部分(fen)揮發(fa)性(xing)液(ye)體(ti)，如乙醇、苯等(deng)，濕敏(min)作為(wei)氣(qi)敏(min)的壹個(ge)分(fen)支(zhi)，此系(xi)統(tong)可完(wan)成(cheng)水的(de)絕(jue)對含(han)量(liang)和相(xiang)對濕度(du)(%RH)的敏(min)感(gan)性(xing)評(ping)價。

JKZC-GSTS08型(xing)氣(qi)體(ti)傳感(gan)器陣(zhen)測試系統(tong)

關(guan)鍵(jian)詞:氣(qi)敏(min)，傳感(gan)器，動(dong)態，靜(jing)態(tai),MEMS

（壹）系(xi)統(tong)簡介(jie)

　　JKZC-GSTS08氣(qi)體(ti)傳感(gan)器陣(zhen)測試系統(tong)主(zhu)要(yao)完成(cheng)氣(qi)體(ti)敏(min)感(gan)材(cai)料(liao)及(ji)氣(qi)敏(min)傳感(gan)器器(qi)件的(de)性(xing)能(neng)檢(jian)測和評(ping)價，適(shi)用(yong)氣(qi)體(ti)範圍包括常(chang)溫(wen)是(shi)氣態(tai)的(de)氣體和部分(fen)揮發(fa)性(xing)液(ye)體(ti)，如乙醇、苯等(deng)，濕敏(min)作為(wei)氣(qi)敏(min)的壹個(ge)分(fen)支(zhi)，此系(xi)統(tong)可完(wan)成(cheng)水的(de)絕(jue)對含(han)量(liang)和相(xiang)對濕度(du)(%RH)的(de)敏(min)感(gan)性(xing)評(ping)價。

　　JKZC-GSTS08氣(qi)體(ti)傳感(gan)器陣(zhen)測試系統(tong)采(cai)用(yong)計(ji)算(suan)機控制(zhi)下(xia)的(de)動態配氣(qi)方(fang)式(shi)實現(xian)對傳感(gan)器各(ge)類相(xiang)關(guan)性(xing)能(neng)指(zhi)標的(de)測試，消除(chu)了(le)傳統靜(jing)態(tai)配氣帶(dai)來的(de)方(fang)法(fa)誤(wu)差，借助(zhu)內置的多項實(shi)驗(yan)方(fang)法(fa)，能(neng)快(kuai)速(su)地(di)完成氣敏(min)材(cai)料(liao)和元器(qi)件的靜(jing)態(tai)、動態參(can)數(shu)的檢(jian)測， 協(xie)助(zhu)進行(xing)氣(qi)敏(min)材(cai)料(liao)的(de)特(te)性(xing)研(yan)究、工(gong)藝開發(fa)和器件(jian)生產中生產檢驗(yan)和質量(liang)控制(zhi)。整套測試系統(tong)由(you)計算機、測試機箱(xiang)、配(pei)氣機箱(xiang)、檢(jian)測氣室（檢(jian)測模塊）等(deng)組成，檢(jian)測對象覆(fu)蓋(gai)目前常(chang)用(yong)氣(qi)敏(min)傳感(gan)器和氣敏(min)材(cai)料(liao)，如金(jin)屬氧(yang)化(hua)物半(ban)導(dao)體(ti)氣敏(min)傳感(gan)、熱催(cui)化(hua)式(shi)傳感(gan)、光催(cui)化(hua)式(shi)傳感(gan)、 電(dian)化學(xue)傳感(gan)、MEMS氣(qi)敏(min)、氧(yang)化(hua)鋯氧(yang)傳感(gan)、生物傳感(gan)、有機材(cai)料(liao)傳感(gan)、光電(dian)式(shi)傳感(gan)等(deng)，通過配(pei)用(yong)不同(tong)的檢(jian)測氣室(模(mo)塊)，可(ke)以(yi)快速(su)進行(xing)切(qie)換和測量(liang)。是(shi)生產單位(wei)和科研(yan)院(yuan)校的(de)重要(yao)設(she)備。

（二(er)）主(zhu)要(yao)特(te)點(dian)

1、軟(ruan)硬(ying)件操(cao)作簡便，穩定可靠，測試系統(tong)擴展(zhan)性(xing)好(hao)；

2、軟(ruan)件(jian)可完(wan)成全部相(xiang)關(guan)的(de)測控工作(zuo)，有操(cao)作向(xiang)導(dao)和多個(ge)默認(ren)測試方(fang)法(fa)，應(ying)用(yong)上(shang)手快；

3、對復雜(za)或(huo)重(zhong)復性(xing)過程(cheng)，可自定義(yi)測試流(liu)程(cheng)，降低工作量(liang)；

4、數(shu)據采(cai)集(ji)、數(shu)據處理(li)等(deng)多窗口可同(tong)時進行(xing)，數(shu)據可(ke)導(dao)出(chu)；

5、支(zhi)持金(jin)屬氧(yang)化(hua)物半(ban)導(dao)體(ti)、催(cui)化(hua)燃燒(shao)、電(dian)化學(xue)等(deng)多種(zhong)類型(xing)氣敏(min)測量(liang)，且通過更換氣室即可實現；

6、支(zhi)持動(dong)態(tai)混(hun)氣(qi)和靜(jing)態(tai)混(hun)氣(qi)方(fang)式(shi)

（三(san)）主(zhu)要(yao)技術參(can)數(shu)

JKZC-QT08可以(yi)配用(yong)不同(tong)的檢(jian)測氣室/模(mo)塊，下(xia)表(biao)為三(san)種(zhong)主要(yao)類型(xing)氣敏(min)傳感(gan)器的(de)指(zhi)標，具(ju)體(ti)指(zhi)標根(gen)據應(ying)用(yong)要(yao)求(qiu)的不同(tong)可能(neng)會有變(bian)化(hua)。

優(you)勢(shi)（1）：動(dong)態(tai)和靜(jing)態(tai)氣體混(hun)氣(qi)測量(liang)

動(dong)態(tai)和靜(jing)態(tai)方(fang)式(shi)是以(yi)進行(xing)測試時氣(qi)體(ti)是不流(liu)動(dong)還是(shi)處於穩(wen)定流(liu)動(dong)態來(lai)區別的。

采(cai)用(yong)流(liu)量(liang)調(tiao)節閥控制(zhi)組(zu)分(fen)的(de)流(liu)量(liang)，實現測試氣源(yuan)的(de)稀(xi)釋           在(zai)背(bei)景(jing)氣(qi)容器中(zhong)，註(zhu)入(ru)定容的氣體(ti)或(huo)液(ye)氣(qi)

（三(san)）測試方(fang)法(fa)

　　測試方(fang)法(fa)是(shi)基(ji)於(yu)儀器操(cao)控、數(shu)據采(cai)集(ji)和數(shu)據處理(li)之上，為便(bian)於(yu)快(kuai)速(su)完(wan)成(cheng)特(te)點(dian)參(can)數(shu)和性(xing)能(neng)的(de)測量(liang)而內置的自動(dong)化流(liu)程(cheng)。軟(ruan)件(jian)設置了多項測試方(fang)法(fa)， 通(tong)過新(xin)測試向導(dao)可(ke)以(yi)方(fang)便地(di)進行(xing)切(qie)換和參(can)數(shu)配置，下(xia)圖(tu)為靈(ling)敏(min)度(du)測試中常(chang)用(yong)的(de)兩(liang)種(zhong)方(fang)法(fa)。

                    方(fang)法(fa)壹（靈(ling)敏(min)度(du)脈沖(chong)法(fa)）

                     方(fang)法(fa)二(er)（靈(ling)敏(min)度(du)臺(tai)階法(fa)）

（四）器(qi)件(jian)檢測氣室

　　測試系統(tong)支(zhi)持多(duo)種(zhong)類型(xing)和封(feng)裝尺寸氣(qi)敏(min)傳感(gan)器，氣(qi)敏(min)材(cai)料(liao)采(cai)用(yong)不同(tong)工藝手段形(xing)成(cheng)器(qi)件，通(tong)過器(qi)件檢(jian)測氣室進行(xing)氣(qi)敏(min)性(xing)能(neng)檢(jian)測。

常(chang)用(yong)氣(qi)室如下(xia)：

1-1、材(cai)料(liao)檢(jian)測氣室

　　材(cai)料(liao)氣(qi)室的(de)開發(fa)，為獨(du)立檢測和評(ping)價金(jin)屬氧(yang)化(hua)物材(cai)料(liao)、有機材(cai)料(liao)、光催(cui)化(hua)材(cai)料(liao)等(deng)多種(zhong)敏(min)感(gan)材(cai)料(liao)的(de)性(xing)能(neng)提(ti)供了可靠的(de)測試環(huan)境(jing)。 經(jing)過應(ying)用(yong)總(zong)結，在(zai)壹代(dai)氣(qi)室的(de)基礎(chu)上改進升級(ji)出(chu)了二(er)代氣(qi)室，屬於(yu)產品。

二(er)代材(cai)料(liao)氣(qi)室與(yu)壹代(dai)相(xiang)比，做了(le)多(duo)項改進：

1、氣(qi)室死體(ti)積減小了(le)65%，進壹步(bu)縮(suo)短氣(qi)室氣(qi)體置換所(suo)需時(shi)間(jian)；

2、提(ti)高(gao)了樣(yang)品臺(tai)溫(wen)度(du)的均勻性(xing)和準確(que)性(xing)，溫(wen)度(du)偏差<0.2，提(ti)高(gao)了對梯(ti)度(du)升溫(wen)控制(zhi)的(de)支(zhi)持

3、裝夾樣(yang)品操(cao)作更便利，帶(dai)防燙(tang)手；

4、采(cai)用(yong)金(jin)合金(jin)探針(zhen)，強(qiang)度(du)高(gao)、耐高(gao)溫(wen)、耐(nai)腐蝕(shi)；

5、氣(qi)室頂(ding)端(duan)設置有觀察窗，便於(yu)觀察樣(yang)品變(bian)化(hua)；

6、氣(qi)室氣(qi)體流(liu)路(lu)經(jing)過優(you)化設(she)計(ji)，氣流(liu)均(jun)勻穩定。

傳感(gan)器氣(qi)敏(min)材(cai)料(liao)制(zhi)樣(yang)

氣(qi)敏(min)傳感(gan)器的(de)制(zhi)樣(yang)是氣(qi)敏(min)性(xing)能(neng)測試的關(guan)鍵(jian)，不同(tong)類型(xing)傳感(gan)器制(zhi)樣(yang)方(fang)法(fa)不同(tong)，下(xia)面(mian)以(yi)的金(jin)屬氧(yang)化(hua)物半(ban)導(dao)體(ti)氣敏(min)材(cai)料(liao)為(wei)例(li)介(jie)紹制(zhi)樣(yang)方(fang)法(fa)。
金(jin)屬氧(yang)化(hua)物半(ban)導(dao)體(ti)氣敏(min)傳感(gan)器分(fen)為(wei)旁(pang)熱式(shi)（陶瓷(ci)管(guan)式(shi)）和直(zhi)熱式(shi)（平(ping)面(mian)基本式(shi)）兩大類，其(qi)制(zhi)作(zuo)方(fang)法(fa)如下(xia)：

將(jiang)適(shi)量(liang)的敏(min)感(gan)材(cai)料(liao)置於研(yan)缽(bo)中研(yan)磨(mo)，可加(jia)入(ru)無(wu)水乙(yi)醇(chun)、去(qu)離(li)子(zi)水、乙(yi)基(ji)纖(xian)維(wei)素(su)和松油(you)醇粘合劑(ji)等(deng)溶劑，使(shi)材(cai)料(liao)均(jun)勻地粉化(hua)為(wei)糊狀(zhuang)

通(tong)過潔凈軟(ruan)毛(mao)刷使(shi)糊狀(zhuang)粉體(ti)均(jun)勻地塗覆(fu)於(yu)帶(dai)有電(dian)極(ji)的(de)陶瓷(ci)管(guan)或(huo)陶瓷(ci)片(pian)表(biao)面(mian)，待(dai)測粉體(ti)要(yao)覆(fu)蓋(gai)住(zhu)電(dian)極(ji)，且(qie)不能過厚，以(yi)免影(ying)響(xiang)電(dian)阻(zu)值和脫落(luo)

將(jiang)塗好(hao)的樣(yang)品置於烘箱(xiang)中(zhong)幹(gan)燥(zao)，使(shi)溶(rong)劑(ji)揮發(fa)

將(jiang)樣(yang)品放(fang)入(ru)加(jia)熱爐，在(zai)設定溫(wen)度(du)下(xia)（二(er)氧(yang)化(hua)錫(xi)壹般為(wei)600℃-650℃ 1小(xiao)時(shi)）燒結

若(ruo)使(shi)用(yong)陶瓷(ci)管(guan)樣(yang)品，需要(yao)利(li)用(yong)電(dian)烙(lao)鐵(tie)將元件(jian)焊接(jie)到(dao)相(xiang)應的底座(zuo)上(shang)，並(bing)在陶瓷(ci)管(guan)中插(cha)入(ru)壹根(gen)加(jia)熱絲（通(tong)常(chang)為Ni-Gr）

為(wei)使(shi)器(qi)件(jian)能夠(gou)擁有更加(jia)良(liang)好(hao)的穩(wen)定度(du)，壹般可(ke)將(jiang)器件(jian)進行(xing)不低於24小(xiao)時(shi)的老(lao)化處理(li)（保持電(dian)阻(zu)絲兩(liang)端(duan)電(dian)壓穩(wen)定，防止器件(jian)脫(tuo)焊）

知(zhi)識拓(tuo)展(zhan)

原(yuan)位(wei)生長(chang)（合(he)成）法(fa)也是金(jin)屬基(ji)復(fu)合材(cai)料(liao)常(chang)用(yong)的(de)的(de)制(zhi)備方(fang)法(fa)，指(zhi)在(zai)不摻雜(za)其(qi)他復雜(za)元素(su)和壹定條件下(xia)，利(li)用(yong)不同(tong)元素(su)或(huo)化(hua)學物質之間(jian)的反(fan)應在(zai)體系(xi)內(nei)直(zhi)接(jie)合(he)成(cheng)新(xin)型(xing) 復(fu)合(he)材(cai)料(liao)的(de)方(fang)法(fa)，其(qi)原(yuan)理(li)是通過控制(zhi)反(fan)應(ying)條件(jian)以(yi)控制(zhi)材(cai)料(liao)的(de)晶(jing)體的(de)生長(chang)方(fang)向，從(cong)而控制(zhi)三(san)維(wei)結構(gou)的(de)形(xing)成。原位(wei)合(he)成法(fa)大致分(fen)為(wei)氣(qi)-液(ye)、固(gu)-液(ye)及(ji)液(ye)-液(ye)反(fan)應(ying)三(san)大類。

MEMS氣(qi)敏(min)主要(yao)應(ying)用(yong)方(fang)向是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)氣敏(min)傳感(gan)，實現(xian)了氣(qi)敏(min)傳感(gan)技術和IC技術的(de)融(rong)合，將氣(qi)敏(min)元件(jian)、加(jia)熱器和測溫(wen)元件(jian)集(ji)成(cheng)到(dao)壹塊芯(xin)片(pian)上(shang)，進行(xing)溫(wen)度(du)的精確(que)控制(zhi)，主(zhu) 要(yao)分(fen)為(wei)矽基MEMS和矽MEMS氣敏(min)兩大類。
常(chang)用(yong)氣(qi)源(yuan)制(zhi)取(qu)方(fang)法(fa)

有多種(zhong)方(fang)法(fa)可(ke)以(yi)獲取(qu)氣敏(min)測試的氣(qi)源(yuan)，它們有各自的(de)優缺(que)點(dian)和適(shi)用(yong)的(de)場(chang)景(jing)，常(chang)用(yong)方(fang)法(fa)如下(xia)表(biao)：

氣(qi)體(ti)濃(nong)度(du)範圍

氣(qi)體(ti)濃(nong)度(du)的表示(shi)有體積濃(nong)度(du)、質量(liang)濃(nong)度(du)、摩爾(er)濃(nong)度(du)等(deng)，的是體(ti)積濃(nong)度(du)。