中(zhong)國(guo)院聲(sheng)學所ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)的(de)設計(ji)與(yu)應用(yong)

本(ben)文詳細(xi)介紹了 ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)，闡述(shu)其(qi)在(zai)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)研(yan)究中(zhong)的(de)重(zhong)要(yao)性。通(tong)過(guo)對儀器(qi)的(de)工作原理、結構設計(ji)、技(ji)術參(can)數(shu)、操(cao)作方法、性能(neng)測試及應用(yong)案例等方(fang)面(mian)的(de)分(fen)析，展示(shi)了(le)該(gai)測(ce)試儀在(zai)測量(liang)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao) d33 常(chang)數方(fang)面(mian)的(de)優(you)勢。研(yan)究表(biao)明，ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)具(ju)有測(ce)量(liang)範圍(wei)寬、分(fen)辨(bian)率(lv)高(gao)、可(ke)靠性強(qiang)、操(cao)作簡(jian)便等(deng)特(te)點(dian)，能為壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)及壓(ya)電(dian)元(yuan)件的(de)生產(chan)、應用(yong)與(yu)研(yan)究提(ti)供(gong)準(zhun)確的(de)數據(ju)支持，推動相關領域的(de)發(fa)展。

ZJ-3 型測(ce)試(shi)儀；壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)；d33 常(chang)數；測(ce)量(liang)精度(du)

壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)在(zai)現代(dai)科技(ji)領域中(zhong)具(ju)有廣(guang)泛(fan)的(de)應用(yong)，如傳感器(qi)、執(zhi)行(xing)器(qi)、超(chao)聲(sheng)換能(neng)器(qi)等(deng)。準(zhun)確測量(liang)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)的(de)性能(neng)參數對於(yu)其(qi)應用(yong)和(he)發(fa)展至(zhi)關重(zhong)要(yao)。d33 常(chang)數作為壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)的(de)重(zhong)要(yao)參(can)數之(zhi)壹(yi)，反映(ying)了(le)材(cai)料(liao)在(zai)縱向受(shou)力(li)時產(chan)生電(dian)荷(he)的(de)能力(li)。ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)是專門(men)為測(ce)量(liang)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數而設計(ji)的(de)儀器(qi)，其(qi)性能(neng)直(zhi)接(jie)影響(xiang)到(dao)對壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)性能(neng)評估的(de)準確性。本(ben)文將(jiang)對 ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)進行(xing)深(shen)入研(yan)究，介(jie)紹其(qi)工作原理、結構設計(ji)、技(ji)術參(can)數(shu)、操(cao)作方法、性能(neng)測試及應用(yong)案例等方(fang)面(mian)的(de)內(nei)容。

2.1 壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)與(yu) d33 常(chang)數

2.2 ZJ-3 型測(ce)試(shi)儀的(de)研發(fa)背(bei)景與(yu)意(yi)義(yi)

三(san)、工作原理

正壓(ya)電(dian)效(xiao)應是(shi) ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)工作的(de)基礎(chu)原理。當壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)受(shou)到(dao)外(wai)力(li)作用(yong)時(shi)，其(qi)內(nei)部(bu)的(de)晶(jing)體結構會發(fa)生變形(xing)，導(dao)致正負(fu)電(dian)荷(he)中(zhong)心(xin)發(fa)生相對位(wei)移(yi)，從(cong)而在(zai)材(cai)料(liao)的(de)表面(mian)產(chan)生感應電(dian)荷(he)。這種電(dian)荷(he)的(de)產(chan)生與(yu)外(wai)力(li)的(de)大(da)小和(he)方向(xiang)密切(qie)相關。根據(ju)壓(ya)電(dian)方(fang)程，對於(yu)各向(xiang)異性的(de)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)，其(qi)電(dian)位(wei)移(yi)與(yu)應力(li)之(zhi)間(jian)存(cun)在(zai)線(xian)性關(guan)系，在(zai)縱向受(shou)力(li)情況(kuang)下，d33 常(chang)數與(yu)電(dian)位(wei)移(yi)和(he)應力(li)的(de)關系可(ke)表示(shi)為：D3=d33T3，其(qi)中(zhong)D3為電(dian)位(wei)移(yi)，T3為(wei)縱向應力(li)。這(zhe)壹(yi)關系表明，在(zai)已知應力(li)的(de)情況(kuang)下，通(tong)過(guo)測(ce)量(liang)電(dian)位(wei)移(yi)即(ji)可(ke)計算(suan)出(chu) d33 常(chang)數。在(zai)實際測量(liang)中(zhong)，當在(zai)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)試(shi)樣(yang)上施加壹(yi)個垂直(zhi)於(yu)其(qi)極(ji)化方向的(de)外(wai)力(li)時(shi)，根據(ju)正(zheng)壓(ya)電(dian)效(xiao)應，在(zai)與(yu)極(ji)化方向垂直(zhi)的(de)兩個表(biao)面(mian)上會產(chan)生等(deng)量(liang)異號的(de)電(dian)荷(he)。這些(xie)電(dian)荷(he)的(de)多少(shao)與(yu)施(shi)加的(de)外(wai)力(li)大(da)小成(cheng)正比，與(yu)材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數也(ye)成正(zheng)比。例如，對於(yu)壹(yi)塊(kuai)壓(ya)電(dian)陶(tao)瓷試樣，當在(zai)其(qi)厚(hou)度(du)方(fang)向上施加壓(ya)力(li)時(shi)，在(zai)試樣的(de)兩個表(biao)面(mian)會產(chan)生電(dian)荷(he)，通(tong)過(guo)測(ce)量(liang)這些(xie)電(dian)荷(he)的(de)密度(du)，結合(he)施(shi)加(jia)的(de)壓(ya)力(li)大(da)小，就(jiu)可(ke)以(yi)利(li)用(yong)上(shang)述(shu)公式計(ji)算(suan)出(chu)該(gai)壓(ya)電(dian)陶(tao)瓷的(de) d33 常(chang)數。

ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)采用(yong)準(zhun)靜態測(ce)量(liang)方法(fa)來測(ce)量(liang)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數。在(zai)儀器(qi)測(ce)量(liang)頭內(nei)，壹(yi)個頻(pin)率(lv)約(yue)為(wei) 110Hz、大(da)小約(yue)為(wei) 0.25N 的(de)低(di)頻(pin)交(jiao)變力，通(tong)過(guo)上(shang)下探頭均勻(yun)地(di)施(shi)加(jia)到(dao)標準(zhun)樣(yang)品與(yu)被測試樣(yang)上(shang)。根據(ju)正(zheng)壓(ya)電(dian)效(xiao)應，標準(zhun)樣(yang)品和(he)被測試樣(yang)在(zai)受到外(wai)力(li)作用(yong)時(shi)，都會產(chan)生相應的(de)電(dian)信(xin)號。這兩個電(dian)信(xin)號首(shou)先(xian)經過(guo)高(gao)靈敏度的(de)電(dian)荷(he)放大(da)器(qi)進行(xing)放大(da)，以(yi)提(ti)高(gao)信號的(de)強度(du)，便於(yu)後續處(chu)理。放(fang)大(da)後的(de)信號再(zai)經(jing)過(guo)檢波電(dian)路(lu)，將(jiang)交(jiao)流信號轉(zhuan)換為(wei)直(zhi)流信號，以(yi)便(bian)於(yu)測量(liang)和分(fen)析。之(zhi)後(hou)，通(tong)過(guo)相除電(dian)路(lu)對兩個信(xin)號進行(xing)處(chu)理，消(xiao)除由(you)於(yu)外(wai)力(li)波(bo)動、環境幹擾等因(yin)素(su)對測量(liang)結果的(de)影響(xiang)。經(jing)過(guo)上(shang)述(shu)必要的(de)處(chu)理後(hou)，最終(zhong)將(jiang)代(dai)表被測試樣(yang) d33 常(chang)數大(da)小及極(ji)性的(de)信號送至三(san)位(wei)半(ban)數(shu)字(zi)面(mian)板表(biao)上(shang)直(zhi)接(jie)顯示。在(zai)測量(liang)過(guo)程中(zhong)，為了(le)滿(man)足(zu)測(ce)量(liang) d33 常(chang)數時(shi)的(de)恒定(ding)電(dian)場邊界條(tiao)件(jian)，在(zai)儀器(qi)測(ce)量(liang)頭內(nei)，與(yu)被測試樣(yang)並(bing)聯了壹(yi)個比試樣(yang)電(dian)容(rong)大(da)很多(duo)（如大(da) 100 倍）的(de)大(da)電(dian)容(rong)。這樣可(ke)以(yi)保(bao)證在(zai)測量(liang)過(guo)程中(zhong)，電(dian)場強(qiang)度基(ji)本(ben)保(bao)持恒定(ding)，從(cong)而提(ti)高(gao)測量(liang)的(de)準確性。這(zhe)種準靜態測(ce)量(liang)方法(fa)相較於(yu)通(tong)常(chang)的(de)靜態法(fa)，能(neng)夠有效(xiao)減小(xiao)由(you)於(yu)壓(ya)電(dian)非線(xian)性及熱釋電(dian)效(xiao)應帶(dai)來的(de)測量(liang)誤(wu)差(cha)。靜態法(fa)由(you)於(yu)存(cun)在(zai)這些(xie)因(yin)素(su)的(de)影響(xiang)，測(ce)量(liang)誤(wu)差(cha)可(ke)達 30% - 50%，而 ZJ-3 型測(ce)試(shi)儀采(cai)用(yong)的(de)準靜態法(fa)能(neng)夠將(jiang)測(ce)量(liang)誤(wu)差(cha)控(kong)制在(zai)較小範(fan)圍(wei)內(nei)，提(ti)高(gao)了測量(liang)結果的(de)可(ke)靠性。

4.1 整體結構布(bu)局(ju)

1. 五、技(ji)術參(can)數(shu)

ZJ-3 型精密(mi) D33 測(ce)試儀(yi)具(ju)有較(jiao)寬(kuan)的(de) d33 測量(liang)範圍(wei)，分(fen)為(wei)兩(liang)檔(dang)：

• ×1 擋：測量(liang)範圍(wei)為 10 到 2000pC/N，可(ke)升(sheng)級至(zhi) 20 至 4000pC/N，甚至能夠進壹(yi)步升(sheng)級到(dao) 10000pC/N。這壹(yi)範圍(wei)能(neng)夠滿(man)足(zu)大(da)多數(shu)具(ju)有較(jiao)大(da)壓(ya)電(dian)常(chang)數的(de)壓(ya)電(dian)陶(tao)瓷材(cai)料(liao)的(de)測量(liang)需(xu)求。在(zai)實際應用(yong)中(zhong)，許多(duo)常(chang)用(yong)的(de)壓(ya)電(dian)陶(tao)瓷材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數都在(zai)這個範(fan)圍(wei)內(nei)，例如 PZT 系列(lie)壓(ya)電(dian)陶(tao)瓷，其(qi) d33 常(chang)數通(tong)常(chang)在(zai)幾百到(dao)幾千(qian) pC/N 之(zhi)間(jian)，ZJ-3 型測(ce)試(shi)儀的(de) ×1 擋能(neng)夠對其(qi)進行(xing)準確測量(liang)。

• ×0.1 擋：測(ce)量(liang)範圍(wei)為 1 到 200pC/N，可(ke)擴展(zhan)至 2 至 400pC/N。該(gai)擋(dang)位(wei)主(zhu)要(yao)用(yong)於(yu)測量(liang)小壓(ya)電(dian)常(chang)數的(de)壓(ya)電(dian)單(dan)晶(jing)及壓(ya)電(dian)高(gao)分(fen)子(zi)材(cai)料(liao)。壹(yi)些(xie)新型的(de)壓(ya)電(dian)單(dan)晶(jing)材(cai)料(liao)或(huo)壓(ya)電(dian)高(gao)分(fen)子(zi)材(cai)料(liao)，其(qi) d33 常(chang)數相對較小，在(zai)幾 pC/N 到幾十 pC/N 之(zhi)間(jian)，×0.1 擋能夠滿(man)足(zu)對這類(lei)材(cai)料(liao)的(de)精確測量(liang)要求(qiu)。較寬的(de)測量(liang)範圍(wei)使得(de) ZJ-3 型測(ce)試(shi)儀能(neng)夠適應不同類(lei)型、不同性能(neng)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)的(de)測量(liang)需(xu)求，具(ju)有廣(guang)泛(fan)的(de)適用(yong)性。

測(ce)試儀在(zai)不同擋(dang)位(wei)下具(ju)有高(gao)分(fen)辨(bian)率(lv)：




• ×1 擋(dang)：分(fen)辨(bian)率(lv)為(wei) 1pC/N。這意味著在(zai)該(gai)擋(dang)位(wei)下，測試儀(yi)能夠(gou)精確分(fen)辨(bian)出(chu) d33 常(chang)數的(de)微小變化，即(ji)使 d33 常(chang)數的(de)變化量(liang)僅為(wei) 1pC/N，測(ce)試儀(yi)也能夠準確地檢測到並在(zai)顯示面(mian)板上(shang)體(ti)現(xian)出(chu)來。這(zhe)種高分(fen)辨(bian)率(lv)對於(yu)測量(liang)具(ju)有較(jiao)大(da) d33 常(chang)數且(qie)需(xu)要精確測量(liang)其(qi)細(xi)微變化的(de)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)非常(chang)重(zhong)要(yao)，例如在(zai)研究壓(ya)電(dian)陶(tao)瓷材(cai)料(liao)的(de)性能(neng)優(you)化過(guo)程中(zhong)，可(ke)能需(xu)要觀察(cha) d33 常(chang)數隨(sui)著制(zhi)備(bei)工藝參(can)數(shu)改(gai)變而發(fa)生的(de)微小變化，×1 擋的(de)高分(fen)辨(bian)率(lv)能(neng)夠滿(man)足(zu)這(zhe)壹(yi)需(xu)求。

• ×0.1 擋(dang)：分(fen)辨(bian)率(lv)為(wei) 0.1pC/N。在(zai)測量(liang)小壓(ya)電(dian)常(chang)數的(de)材(cai)料(liao)時(shi)，×0.1 擋(dang)的(de)高分(fen)辨(bian)率(lv)能(neng)夠確保(bao)對微小 d33 常(chang)數的(de)精確測量(liang)。對於(yu)那(na)些(xie) d33 常(chang)數在(zai)幾 pC/N 到幾十 pC/N 範(fan)圍內(nei)的(de)壓(ya)電(dian)單(dan)晶(jing)或壓(ya)電(dian)高(gao)分(fen)子(zi)材(cai)料(liao)，0.1pC/N 的(de)分(fen)辨(bian)率(lv)能(neng)夠提(ti)供(gong)非常(chang)準確的(de)測量(liang)結果，為研(yan)究這(zhe)類(lei)材(cai)料(liao)的(de)壓(ya)電(dian)性能(neng)提(ti)供(gong)可(ke)靠的(de)數據(ju)支持。高(gao)分(fen)辨(bian)率(lv)保(bao)證了測試儀能夠(gou)對壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數進行(xing)精細(xi)測量(liang)，提(ti)高(gao)了測量(liang)結果的(de)準確性和(he)可(ke)靠性。

ZJ-3 型測(ce)試(shi)儀在(zai)不同測(ce)量(liang)範圍(wei)內(nei)具(ju)有嚴(yan)格(ge)控(kong)制的(de)誤(wu)差(cha)範(fan)圍(wei)：




• ×1 擋(dang)：當 d33 在(zai) 100 到 4000pC/N 時，誤(wu)差(cha)為(wei) ±2%±1 個數(shu)字(zi)。例如，當測(ce)量(liang)壹(yi)個 d33 常(chang)數為(wei) 1000pC/N 的(de)壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)試(shi)樣(yang)時，根據(ju)誤(wu)差(cha)範(fan)圍(wei)，測(ce)量(liang)結果可(ke)能在(zai) 1000×(1 - 2%) - 1 到 1000×(1 + 2%) + 1 之(zhi)間(jian)，即(ji) 979 到 1021pC/N 之(zhi)間(jian)。當 d33 在(zai) 10 到 200pC/N 時，誤(wu)差(cha)為(wei) ±5%±1 個數(shu)字(zi)。這是因(yin)為在(zai)較低(di)的(de) d33 常(chang)數範(fan)圍內(nei)，測量(liang)難度(du)相對較大(da)，外(wai)界(jie)幹(gan)擾因(yin)素(su)對測量(liang)結果的(de)影響(xiang)相對更明顯，所以(yi)誤(wu)差(cha)範(fan)圍(wei)適當放(fang)寬(kuan)，但仍能(neng)保(bao)證在(zai)可(ke)接受(shou)的(de)範圍(wei)內(nei)，以(yi)確保(bao)測量(liang)結果的(de)可(ke)靠性。

• ×0.1 擋(dang)：當 d33 在(zai) 10 到 200pC/N 時，誤(wu)差(cha)為(wei) ±2%±1 個數(shu)字(zi)。在(zai)該(gai)擋(dang)位(wei)下，對於(yu)小壓(ya)電(dian)常(chang)數材(cai)料(liao)的(de)測量(liang)，能夠(gou)保(bao)證較高的(de)測量(liang)精度(du)，誤(wu)差(cha)控(kong)制在(zai)較小範(fan)圍(wei)內(nei)，為研究小(xiao)壓(ya)電(dian)常(chang)數材(cai)料(liao)的(de)性能(neng)提(ti)供(gong)了(le)準(zhun)確的(de)數據(ju)基(ji)礎(chu)。嚴格(ge)控(kong)制的(de)誤(wu)差(cha)範(fan)圍(wei)表(biao)明 ZJ-3 型測(ce)試(shi)儀具(ju)有較(jiao)高(gao)的(de)測量(liang)準確性，能(neng)夠為壓(ya)電(dian)材(cai)料(liao)的(de)研究和(he)應用(yong)提(ti)供(gong)可(ke)靠的(de)數據(ju)支持。

• 尺寸(cun)：施(shi)力裝(zhuang)置(zhi)尺寸(cun)為(wei) Φ110×140mm，儀器(qi)本(ben)體(ti)尺寸(cun)為(wei) 240×200×80mm。這樣(yang)的(de)尺寸(cun)設計(ji)使得(de)儀(yi)器(qi)整體結構緊(jin)湊，既(ji)方(fang)便操(cao)作，又便於(yu)攜帶(dai)和安裝。施力裝(zhuang)置(zhi)的(de)尺寸(cun)設計(ji)能(neng)夠(gou)保(bao)證其(qi)穩(wen)定(ding)地施(shi)加外(wai)力(li)，同(tong)時不會占用(yong)過(guo)多(duo)空間；儀(yi)器(qi)本(ben)體(ti)的(de)尺寸(cun)設計(ji)兼(jian)顧(gu)了內(nei)部(bu)電(dian)子(zi)元器(qi)件(jian)的(de)布局(ju)和散熱需(xu)求，以(yi)及操(cao)作人員對儀器(qi)操(cao)作的(de)便捷性。

• 重(zhong)量(liang)：施力(li)裝置(zhi)約(yue) 4 公斤，儀器(qi)本(ben)體(ti) 2 公斤。較輕(qing)的(de)重(zhong)量(liang)使得(de)儀(yi)器(qi)在(zai)使用(yong)和(he)搬運(yun)過(guo)程中(zhong)更加(jia)方便(bian)，無(wu)論是在(zai)實驗(yan)室環(huan)境中(zhong)進行(xing)常(chang)規測(ce)量(liang)，還(hai)是(shi)需(xu)要在(zai)不同地(di)點(dian)進行(xing)現場測(ce)試，都能夠輕(qing)松(song)移(yi)動和部(bu)署(shu)。

• 電(dian)源(yuan)：使用(yong) 220 伏(fu)，50 赫的(de)交(jiao)流電(dian)源(yuan)，功(gong)率(lv)為(wei) 20 瓦(wa)。這種常(chang)見(jian)的(de)電(dian)源(yuan)規(gui)格(ge)使得(de)儀(yi)器(qi)能(neng)夠(gou)方便地接(jie)入各種實驗(yan)場所(suo)的(de)供(gong)電(dian)系統(tong)，20 瓦(wa)的(de)低(di)功率(lv)設計(ji)既(ji)滿(man)足(zu)了(le)儀器(qi)正(zheng)常(chang)工作的(de)需(xu)求，又具(ju)有較(jiao)低(di)的(de)能耗(hao)，節(jie)能(neng)環(huan)保(bao)。

6.1 測試前(qian)準(zhun)備(bei)

1. 6.2 測(ce)量(liang)過(guo)程操(cao)作步驟

2. <ol class="auto-hide-last-sibling-br list-paddingleft-2" segoe="" ui",="" "sf="" pro="" sc",="" display",="" icons",="" "pingfang="" "hiragino="" sans="" gb",="" "microsoft="" yahei",="" "helvetica="" neue",="" helvetica,="" arial,="" sans-serif;="" font-size:="" 16px;="" background-color:="" rgb(255,="" 255,="" 255);="" margin-top:="" var(--md-box-samantha-li-margin)="" !important;"="" style="box-sizing: border-box; padding: 0px 0px 0px 20px; font-family: "PingFang SC", Helvetica, "Microsoft YaHei", Arial, "sans-serif"; line-height: inherit; vertical-align: baseline; background: rgb(255, 255, 255); -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); appearance: none; list-style: outside none none; -webkit-font-smoothing: antialiased; overflow-anchor: auto; color: rgb(34, 34, 34);">

3. 參數設置(zhi)：根據(ju)被測試樣(yang)的(de)估計 d33 常(chang)數大(da)小，選(xuan)擇(ze)合(he)適的(de)測量(liang)擋位(wei)。如果估計 d33 常(chang)數較(jiao)大(da)，在(zai) 100pC/N 以(yi)上(shang)，可(ke)選擇(ze) ×1 擋(dang)；如果估計 d33 常(chang)數較(jiao)小，在(zai) 100pC/N 以(yi)下，可(ke)選擇(ze) ×0.1 擋(dang)。將(jiang)儀(yi)器(qi)後(hou)面(mian)板上(shang)的(de) “d33 - 力" 選(xuan)擇(ze)開關(guan)置(zhi)於(yu) “d33" 壹(yi)側，確保(bao)儀器(qi)處(chu)於(yu) d33 常(chang)數測(ce)量(liang)模式。

4. 儀(yi)器(qi)預熱：打開儀(yi)器(qi)電(dian)源(yuan)，讓儀器(qi)通(tong)電(dian)預熱 10min。在(zai)預熱過(guo)程中(zhong)，儀器(qi)內(nei)部(bu)的(de)電(dian)子(zi)元器(qi)件(jian)逐(zhu)漸達到穩定(ding)工作狀(zhuang)態(tai)，能夠提(ti)高(gao)測量(liang)的(de)準確性和(he)穩定(ding)性。預熱時間結束後，儀器(qi)方(fang)可(ke)進行(xing)準確測量(liang)。

5. 調零(ling)操(cao)作：調節(jie)儀(yi)器(qi)前(qian)面(mian)板上(shang)的(de)調零(ling)旋鈕(niu)，使面(mian)板表(biao)指(zhi)示(shi)在(zai) “0" 與(yu) “ - 0" 之(zhi)間(jian)。調零(ling)操(cao)作是為了消(xiao)除儀(yi)器(qi)的(de)零(ling)點(dian)漂移(yi)誤(wu)差(cha)，確保(bao)測量(liang)結果的(de)準確性。在(zai)調零(ling)過(guo)程中(zhong)，要確保(bao)測量(liang)頭沒(mei)有施(shi)加(jia)外(wai)力(li)，處(chu)於(yu)空載狀(zhuang)態(tai)。

6. 試樣測量(liang)：將(jiang)安(an)裝好試(shi)樣(yang)的(de)施力(li)裝置(zhi)放置(zhi)在(zai)儀器(qi)的(de)測量(liang)位(wei)置(zhi)上，輕(qing)輕(qing)壓(ya)下測量(liang)頭的(de)膠木(mu)板，使測量(liang)探頭與(yu)試(shi)樣緊(jin)密接觸(chu)。此(ci)時(shi)，施力(li)裝置(zhi)會向試(shi)樣施(shi)加(jia)壹(yi)個約(yue) 0.25N、頻(pin)率(lv)為(wei) 110Hz 的(de)低(di)頻(pin)交(jiao)變力。由(you)正(zheng)壓(ya)電(dian)效(xiao)應產(chan)生的(de)