描述：JK-VRP300是壹(yi)款高溫真空熱壓機，針(zhen)對(dui)於(yu)晶(jing)片(pian)的焊接(jie)或(huo)薄(bo)膜(mo)轉(zhuan)移，其(qi)可(ke)處理(li)最(zui)大樣(yang)品尺(chi)寸(cun)為 300mm*300mm*70mm。儀(yi)器(qi)最(zui)高工作溫度為500℃，在(zai)此(ci)溫度下(xia)可(ke)對(dui)樣品施(shi)加(jia)的(de)最(zui)大壓力(li)為30T。

上下(xia)加(jia)熱平臺和真空腔(qiang)體

上下(xia)加(jia)熱平臺都(dou)安裝(zhuang)在(zai)真空腔(qiang)體內(nei)，上下(xia)加(jia)熱平臺尺(chi)寸(cun)：300*300mm

上下(xia)加(jia)熱板平面度<0.02mm（在(zai)有(you)效面積(ji) 300mm*300mm 範圍(wei)內）

真空腔(qiang)體采用 304 不(bu)銹(xiu)鋼(gang)制(zhi)作，並焊接(jie)有加(jia)強(qiang)筋（防(fang)止(zhi)真空狀(zhuang)態(tai)下(xia)腔(qiang)體變(bian)形(xing)）， 真空度可(ke)以(yi)達到 10 ^-1Pa。

可(ke)放入樣(yang)品最(zui)大尺(chi)寸(cun)：300mm*300mm*70mm

壹(yi)個(ge)數顯(xian)真空計(ji)

腔(qiang)體設(she)有(you)壹(yi)個(ge)φ6.35 的(de)卡(ka)套(tao)接(jie)頭作為進氣(qi)口(kou)使(shi)用，並(bing)通(tong)過(guo)壹(yi)個(ge)電(dian)磁閥控(kong)制(zhi)進氣(qi) 的(de)通斷(duan)

腔(qiang)體側面有壹(yi)個(ge)φ8mm 寶(bao)塔(ta)氣嘴(zui)的出氣口，通(tong)過(guo)壹(yi)個(ge)電(dian)磁閥控(kong)制(zhi)出氣(qi)的通斷

腔(qiang)體側面有壹(yi)個(ge) KF25 的(de)抽(chou)真空接(jie)口，方便客戶(hu)匹配各種型號的真空系統(tong)

溫控系統(tong)

兩個(ge)精(jing)密的溫控系統(tong)可(ke)設(she)置(zhi) 18 段(duan)升(sheng)降(jiang)溫程序，控(kong)溫精(jing)度為±1℃，500 度恒溫 時(shi)的溫度波動±5℃，分別獨立(li)控(kong)制(zhi)兩個(ge)加(jia)熱平臺。

溫控系統(tong)采用 PID 方式進行(xing)溫度調節(jie)，並(bing)帶有過(guo)熱和斷偶(ou)保(bao)護(hu)。

最(zui)高工作溫度為：500℃（＜30min）

壓力(li)控(kong)制(zhi)系統(tong)

最(zui)大壓力(li)：30T

加(jia)壓方式：電(dian)動加(jia)壓

壓力(li)精(jing)度:0.01 噸(dun)

油(you)缸(gang)直(zhi)徑(jing)為 Φ80 mm；

油(you)缸(gang)行(xing)程為 0-70 mm；

真空泵

抽(chou)氣(qi)速(su)率(lv)：8(2.2)m³/h(L/S)

極(ji)限壓力(li)：氣(qi)鎮(zhen)關(guan) 5*10 -2Pa 氣(qi)鎮(zhen)開(kai) 10Pa

功(gong)率(lv)：0.37kw

所(suo)需油量：0.6~1.0L

進出(chu)氣(qi)口：KF25

外(wai)形(xing)尺(chi)寸(cun)

580*680*120mm

重(zhong)量(liang)

約(yue) 580Kg

質(zhi)保(bao)

壹(yi)年質保(bao)期，終生維(wei)護(hu)

特(te)別提(ti)示：耗材部(bu)分(fen)如加(jia)熱元(yuan)件(jian)、石英窗口等(deng)不(bu)包含在(zai)內(nei)因使(shi)用腐(fu)蝕(shi)性氣體和酸性氣體造(zao)成(cheng)的損(sun)害(hai)不(bu)在(zai)保(bao)修(xiu)範圍(wei)內