描述(shu)：JKZC-PRJ750是壹(yi)款(kuan)真(zhen)空(kong)平板熱壓機(ji)，專(zhuan)為(wei)晶圓(yuan)鍵合(he)、薄(bo)膜轉移和(he) LCP 層(ceng)壓設計，加熱面積為(wei) 135x135mm~350x350mm。其最高工作(zuo)溫(wen)度(du)為(wei) 750℃，最大壓力(li)為(wei)20T~40T。

型(xing)號:JKZC-PRJ750

（壹(yi)）產品(pin)概(gai)述(shu):

JKZC-PRJ750是壹(yi)款(kuan)真(zhen)空(kong)平板熱壓機(ji)，專(zhuan)為(wei)晶圓(yuan)鍵合(he)、薄(bo)膜轉移和(he) LCP 層(ceng)壓設計，加熱面積為(wei) 135x135mm~350x350mm。其最高工作(zuo)溫(wen)度(du)為(wei) 750℃，最大壓力(li)為(wei)20T~40T。

（二）基(ji)本參(can)數：

（三）真(zhen)空(kong)平板熱壓機(ji)結構(gou)

兩(liang)塊塊加(jia)熱平板最高工作(zuo)溫(wen)度(du)750℃，采(cai)用(yong)高溫合金(jin)制(zhi)作(zuo)加(jia)熱元(yuan)件(jian)插入(ru)加(jia)熱板的(de)中(zhong)心，以實(shi)現(xian)快(kuai)速加熱。

2塊加(jia)熱板分(fen)別由(you)2個(ge)溫(wen)控儀(yi)表獨立控溫(wen)，50段(duan)程(cheng)序(xu)控(kong)溫(wen)在(zai)加(jia)熱板的(de)頂(ding)部(bu)和(he)底部(bu)都(dou)安(an)裝了水冷套(tao)管(guan)，以(yi)輔助(zhu)散熱。進(jin)/出(chu)水管(guan)為(wei)外徑(jing)12mm聚氨酯管

（四）壓機(ji)參(can)數：

1、壓缸(gang)行(xing)程(cheng)：40mm

2、壓力(li)顯(xian)示(shi)範圍:2.00-5000.00kg

3、壓力(li)控(kong)制範圍:50-5000Kg

4、壓機(ji)：保(bao)壓時間(jian):1-9999min

5、設備有(you)兩(liang)種(zhong)工(gong)作(zuo)模式:手動(dong)加(jia)壓和(he)自(zi)動加壓。自(zi)動加壓模式下(xia)設備帶有(you)恒(heng)壓功(gong)能(neng):當壓力(li)值(zhi)達到(dao)目(mu)標值(zhi)後，在(zai)保(bao)壓的(de)過(guo)程(cheng)中(zhong)，設備持續補(bu)壓使壓力(li)保(bao)持(chi)在(zai)設(she)定值(zhi)。

6、恒壓精(jing)度(du):±3kg

7、溫度(du)控(kong)制(zhi)和(he)壓力(li)顯(xian)示(shi)：2塊加(jia)熱板分(fen)別由(you)2個(ge)溫(wen)控儀(yi)表獨立控溫(wen)，50段(duan)程(cheng)序(xu)控(kong)溫(wen)，控(kong)溫(wen)精(jing)度(du)土3℃溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)器(qi)具(ju)備 PID 自(zi)動校準(zhun)功(gong)能(neng)、過(guo)熱保(bao)護(hu)以及斷(duan)熱電(dian)偶(ou)保(bao)護(hu)功(gong)能(neng)。最高工作(zuo)溫(wen)度(du):750℃<30分(fen)鐘，連續工(gong)作(zuo)溫(wen)度(du)700℃(情性(xing)氣(qi)氛(fen)或真(zhen)空(kong)環(huan)境下(xia))最高加熱速(su)率:5℃/min

8、溫度(du)控(kong)制(zhi)和(he)壓力(li)顯(xian)示(shi)：控(kong)制(zhi)面板內(nei)內(nei)置了壹(yi)款(kuan)數字壓力(li)計(控制(zhi)器(qi))。您可以(yi)設(she)定所(suo)需的(de)壓力(li)值(zhi)，這(zhe)樣(yang)就能(neng)使電(dian)動(dong)液壓機(ji)到(dao)達壓力(li)值(zhi)時(shi)自(zi)動恒壓。

 （四）真(zhen)空(kong)腔體(ti)

1、電動(dong)液壓機(ji)和(he)加熱板被放置(zhi)在(zai)真(zhen)空(kong)室內部(bu)

2、真(zhen)空(kong)室由(you)： ss304 不銹(xiu)鋼(gang)制(zhi)成(cheng)

3、真(zhen)空(kong)腔體(ti)安(an)裝有(you)壹(yi)個(ge)真(zhen)空(kong)密封門，直(zhi)徑300mm,有(you)壹(yi)個(ge)直(zhi)徑150m的(de)石(shi)英窗(chuang)口(kou)，4、便於裝樣品(pin)和(he)觀察(cha)：所有(you)真(zhen)空(kong)密封均使用(yong)矽(gui)橡(xiang)膠(jiao)0型(xing)圈

5、可選購(gou)安(an)裝了壹(yi)個(ge)數字真(zhen)空(kong)計(10E-4Torr)測量真(zhen)空(kong)腔室的(de)真(zhen)空(kong)度(du)

可選可選購(gou)設備(需額外(wai)費(fei)用(yong))

5、需要壹(yi)臺(tai)循環(huan)水冷(leng)機(ji)，用(yong)於對(dui)過(guo)熱的(de)散熱板進(jin)行(xing)冷卻(que)，以加(jia)快冷(leng)卻(que)速度(du)。可(ke)選購(gou)真(zhen)空(kong)泵，機(ji)械(xie)泵抽真(zhen)空(kong)度(du)300mTorr，分(fen)子(zi)泵系統(tong)抽真(zhen)空(kong)度(du)10-4Torr

應用(yong)註意：

此(ci)款熱壓機(ji)也可(ke)用(yong)於測量熱電(dian)發(fa)電(dian)機(ji)模塊(頂(ding)部(bu)受熱，底部(bu)冷卻(que))