描(miao)述：小型程(cheng)控(kong)蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜儀(yi)JKZC-DM1700是壹款小型(xing)臺式(shi)程(cheng)序(xu)控(kong)溫蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜儀(yi)，可(ke)以(yi)設(she)定(ding)程(cheng)序(xu)，精(jing)確(que)控制(zhi)溫度200℃～1500℃（或者1200℃～1700℃），樣品臺可旋(xuan)轉(zhuan)以(yi)獲(huo)得(de)更(geng)均勻(yun)的(de)薄(bo)膜，可制(zhi)備各種(zhong)金屬(shu)薄(bo)膜和有(you)機物薄(bo)膜。

小型程(cheng)控(kong)蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜儀(yi)JKZC-DM1700是壹款小型(xing)臺式(shi)程(cheng)序(xu)控(kong)溫蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜儀(yi)，可(ke)以(yi)設(she)定(ding)程(cheng)序(xu)，精(jing)確(que)控制(zhi)溫度200℃～1500℃（或者1200℃～1700℃），樣品臺可旋(xuan)轉(zhuan)以(yi)獲(huo)得(de)更(geng)均勻(yun)的(de)薄(bo)膜，可制(zhi)備各種(zhong)金屬(shu)薄(bo)膜和有(you)機物薄(bo)膜。

技術參數：

產品(pin)特(te)點：

· φ6英寸(cun)的(de)石(shi)英(ying)腔體，便(bian)於(yu)清潔和放入樣品

· 安裝有(you)壹個2英寸(cun)的(de)樣品臺，且樣品臺可旋(xuan)轉(zhuan)，使(shi)所制(zhi)薄(bo)膜更加(jia)均勻(yun)

· 樣品臺與蒸(zheng)發(fa)源之間的距(ju)離可(ke)調(tiao)

· 氣(qi)體流量端口(kou)和閥門內(nei)置(zhi)可(ke)用(yong)於腔室凈(jing)化(hua)和CVD實驗

基本參數：

· 電源：208V-240V，50/60HZ

· 功(gong)率(lv)：＜1.5KW

· 最高加(jia)熱溫度：≤1500℃

真(zhen)空(kong)腔室：

· 材質：高純(chun)石(shi)英(ying)

· 尺寸(cun)：外徑φ166*內(nei)徑(jing)φ150*L250mm

· 密封(feng)法蘭:  采用金屬(shu)鋁制(zhi)作，采用(yong)矽(gui)膠密封(feng)圈密(mi)封(feng)

· 壹個快速擋(dang)板安裝(zhuang)在法(fa)蘭上

· 壹個不銹(xiu)鋼網罩住整個石(shi)英(ying)腔體

· 真(zhen)空(kong)度：<7.5×10-2 Torr （采用(yong)雙(shuang)極旋片真(zhen)空(kong)泵）,<5×10-3 torr （采(cai)用(yong)渦旋分(fen)子泵）