描(miao)述：HTR-01A快速退(tui)火(huo)爐(lu)系列(lie)采(cai)用紅(hong)外輻射(she)加(jia)熱(re)技(ji)術(shu)，可(ke)實現(xian)1-10片(pian)樣(yang)品同時(shi)進(jin)行(xing)，可(ke)實現(xian)4寸(cun)晶圓(yuan)片(pian)吋樣(yang)品快速升(sheng)溫和降(jiang)溫，同時(shi)搭(da)配超(chao)高(gao)精(jing)度溫度控(kong)制(zhi)系統，可(ke)達(da)到(dao)的(de)溫場均(jun)勻(yun)性，對(dui)材料(liao)的(de)快速熱(re)處(chu)理(li)(RTP)、快速退(tui)火(huo)(RTA)、快(kuai)速熱(re)氮(dan)化(hua)(RTN)、快(kuai)速熱(re)氧(yang)化(hua)(RTO)及(ji)金(jin)屬(shu)合(he)金(jin)化(hua)等(deng)研究和(he)生產起(qi)到(dao)重要作(zuo)用(yong)。

主(zhu)要應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)：

快(kuai)速熱(re)處(chu)理(li)(RTP)，快速退(tui)火(huo)(RTA)，快(kuai)速熱(re)氧(yang)化(hua)(RTO)，快(kuai)速熱(re)氮(dan)化(hua)(RT

HTR-01 桌式(shi)4英(ying)寸快(kuai)速退(tui)火(huo)爐(lu)

HTR-01A快速退(tui)火(huo)爐(lu)系列(lie)采(cai)用紅(hong)外輻射(she)加(jia)熱(re)技(ji)術(shu)，可(ke)實現(xian)1-10片(pian)樣(yang)品同時(shi)進(jin)行(xing)，可(ke)實現(xian)4寸(cun)晶圓(yuan)片(pian)吋樣(yang)品快速升(sheng)溫和降(jiang)溫，同時(shi)搭(da)配超(chao)高(gao)精(jing)度溫度控(kong)制(zhi)系統，可(ke)達(da)到(dao)的(de)溫場均(jun)勻(yun)性，對(dui)材料(liao)的(de)快速熱(re)處(chu)理(li)(RTP)、快速退(tui)火(huo)(RTA)、快(kuai)速熱(re)氮(dan)化(hua)(RTN)、快(kuai)速熱(re)氧(yang)化(hua)(RTO)及(ji)金(jin)屬(shu)合(he)金(jin)化(hua)等(deng)研究和(he)生產起(qi)到(dao)重要作(zuo)用(yong)。

主要應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)：

快速熱(re)處(chu)理(li)(RTP)，快速退(tui)火(huo)(RTA)，快(kuai)速熱(re)氧(yang)化(hua)(RTO)，快(kuai)速熱(re)氮(dan)化(hua)(RTN);離子註入(ru)/接(jie)觸退(tui)火(huo);

金(jin)屬(shu)合(he)金(jin);

熱(re)氧(yang)化(hua)處(chu)理(li);

化(hua)合(he)物(wu)合(he)金(jin)(砷(shen)化(hua)家、氮(dan)化(hua)物(wu)等(deng));多(duo)晶矽(gui)退(tui)火(huo);

太(tai)陽(yang)能(neng)電(dian)池片退(tui)火(huo);高(gao)溫退(tui)火(huo);

高溫擴(kuo)散。

產品特點

● 快速加(jia)熱(re)和(he)降(jiang)溫: 最高(gao)可(ke)控(kong)升(sheng)溫速率可(ke)達(da)50 ℃/s，特定(ding)條件下(xia)可(ke)以達(da)到(dao)100 ℃/s。冷(leng)壁(bi)水冷設(she)計(ji)能(neng)夠(gou)達(da)到(dao)較(jiao)大(da)的(de)降溫速率，特定(ding)條件下(xia)可(ke)達(da)30 ℃/s。

● 精(jing)確(que)控(kong)溫: 采(cai)用工業級溫控(kong)器(qi)進(jin)行(xing)PID精(jing)確(que)控(kong)溫，目標(biao)溫度與設(she)定(ding)溫度曲(qu)線壹(yi)致(zhi)性(xing)高(gao)，可(ke)實(shi)現(xian)室溫至1200 ℃的(de)溫度精(jing)確(que)控(kong)制(zhi)。

● 適應(ying)多(duo)種工藝(yi)環境(jing): 滿足(zu)多(duo)種工藝(yi)氣氛(fen)下(xia)的(de)熱(re)處(chu)理(li)（氮(dan)氣、氬(ya)氣(qi)等(deng)）。同時(shi)，通(tong)過選配真空(kong)泵(beng)，可(ke)以在真空(kong)條件下(xia)進(jin)行退(tui)火(huo)，最(zui)高(gao)真空(kong)度可達(da)10^-5Pa。

● 配備觀察(cha)窗口(kou): 通(tong)過觀察(cha)窗口(kou)，可(ke)以實(shi)時(shi)觀(guan)察(cha)熱(re)處(chu)理(li)過程中(zhong)的(de)樣(yang)品變(bian)化(hua)。同(tong)時(shi)，可(ke)以結(jie)合(he)相關(guan)測試(shi)方法進行原(yuan)位測試(shi)分析(xi)。

● 超(chao)高(gao)安(an)全(quan)系數(shu): 采(cai)用爐(lu)壁超(chao)溫報警系統和(he)冷(leng)卻(que)水流(liu)量(liang)報警系統，保(bao)障(zhang)儀器(qi)使用(yong)安全(quan)。

● 售後(hou)服務(wu)：，能(neng)快(kuai)速反應(ying)客(ke)戶售(shou)後(hou)需求(qiu)。