描述(shu)：HET-1T多(duo)功(gong)能(neng)高(gao)精度二維(wei)材料顯(xian)微(wei)轉移(yi)系統(tong)

關(guan)鍵詞(ci)：二維(wei)材料，幹(gan)法(fa)，濕法(fa)，範(fan)德(de)華

適(shi)用(yong)於(yu)石(shi)墨烯(xi)，硫(liu)化(hua)鉬，黑(hei)磷(lin)等(deng)單層材料精確(que)定(ding)點(dian)轉移(yi)，以及(ji)多(duo)層範(fan)德(de)華異質結的(de)制備。
由於(yu)在(zai)制(zhi)備多(duo)層異(yi)質結結構的二維(wei)半(ban)導(dao)體(ti)材料晶體(ti)管(guan)的過程(cheng)中，需(xu)要將壹(yi)層二維(wei)材料轉(zhuan)移(yi)到另(ling)壹(yi)層二維(wei)材料上(shang)。在(zai)常規的大(da)氣(qi)環(huan)境(jing)中(zhong)進行轉移操(cao)作時，難(nan)免會(hui)遇到轉移(yi)後兩(liang)層材料中(zhong)含(han)有(you)少量(liang)氣(qi)泡的(de)問題；並(bing)且，某些(xie)二維(wei)材料會(hui)受到空(kong)氣(qi)中(zhong)水和(he)氧的影(ying)響(xiang)，使(shi)得材料

HET-1T多(duo)功(gong)能(neng)高(gao)精度二維(wei)材料顯(xian)微(wei)轉移(yi)系統(tong)

關(guan)鍵詞(ci)：二維(wei)材料，幹(gan)法(fa)，濕法(fa)，範(fan)德(de)華 

適(shi)用(yong)於(yu)石(shi)墨烯(xi)，硫(liu)化(hua)鉬，黑(hei)磷(lin)等(deng)單層材料精確(que)定(ding)點(dian)轉移(yi)，以及(ji)多(duo)層範(fan)德(de)華異質結的(de)制備。
由於(yu)在(zai)制(zhi)備多(duo)層異(yi)質結結構的二維(wei)半(ban)導(dao)體(ti)材料晶體(ti)管(guan)的過程(cheng)中，需(xu)要將壹(yi)層二維(wei)材料轉(zhuan)移(yi)到另(ling)壹(yi)層二維(wei)材料上(shang)。在(zai)常規的大(da)氣(qi)環(huan)境(jing)中(zhong)進行轉移操(cao)作時，難(nan)免會(hui)遇到轉移(yi)後兩(liang)層材料中(zhong)含(han)有(you)少量(liang)氣(qi)泡的(de)問題；並(bing)且，某些(xie)二維(wei)材料會(hui)受到空(kong)氣(qi)中(zhong)水和(he)氧的影(ying)響(xiang)，使(shi)得材料本(ben)身的(de)性能(neng)下(xia)降(jiang)。兩(liang)者使(shi)得器件(jian)性能(neng)大(da)大(da)下(xia)降(jiang)。

1. 顯(xian)微(wei)轉移(yi)操(cao)作平(ping)臺：

a. 四軸(zhou)可(ke)調(tiao)襯底載(zai)物(wu)平(ping)臺： XY方(fang)向行程(cheng) 20mm，轉移(yi)對(dui)位(wei)操(cao)作精度2μm；繞z 軸手動調(tiao)節(jie)旋轉(zhuan)最(zui)大(da)±90°，測(ce)微(wei)器精細調(tiao)節(jie)，行程(cheng)5°，調(tiao)節(jie)精度0.5°左(zuo)右(you)； 繞x軸和y 軸(zhou)傾斜臺，調(tiao)節(jie)方(fang)式手動轉(zhuan)輪(lun)，臺面厚(hou)度20mm，傾斜角度±2°。

b. 襯底載(zai)物(wu)平(ping)臺加(jia)熱系統(tong)：樣品(pin)臺加熱最高(gao)溫度為240 ℃，使(shi)用(yong) PID 溫度控(kong)制器，溫度控(kong)制穩(wen)定(ding)性小(xiao)於(yu)±1℃（穩(wen)定(ding)性≦±0.1℃），帶加熱開(kai)關(guan)。

c. 四軸(zhou)可(ke)調(tiao)載(zai)玻(bo)片移(yi)動(dong)平(ping)臺：載(zai)玻(bo)片 XYZ三軸可(ke)調(tiao)，80mm高(gao)穩(wen)定(ding)性臺(tai)面，行程(cheng)25mm，測微(wei)絲桿(gan)控(kong)制；Z軸(zhou)為29mm直(zhi)徑百(bai)刻線微(wei)分頭(tou)，便於(yu)精細升(sheng)降(jiang)操(cao)作；樣(yang)品送(song)入手動旋轉(zhuan)臺(tai)，臺面直(zhi)徑100mm，粗(cu)調(tiao)旋轉(zhuan)範(fan)圍360°，細調(tiao)旋轉(zhuan)範(fan)圍±5°，定(ding)位(wei)精度1~ 2°；

d. 支持真空(kong)自(zi)動吸(xi)附(fu)樣(yang)品，確(que)保(bao)轉(zhuan)移過程(cheng)中目(mu)標(biao)樣(yang)品位(wei)置(zhi)精確(que)固定(ding)；真空(kong)泵(beng)電磁(ci)閥控(kong)制，按鈕(niu)控(kong)制是(shi)否(fou)吸(xi)附(fu)樣(yang)品；真空(kong)泵(beng)：25L-35L/min 流量(liang)；

e．雙邊(bian)載(zai)玻(bo)片夾(jia)具：輔(fu)助夾(jia)具片2片，夾(jia)具片75*25*1.5mm；

f．集成控(kong)制機箱：集成機櫃(gui)包(bao)括(kuo)電源、顯微(wei)鏡(jing)LED控(kong)制、溫(wen)度控(kong)制、真空(kong)開(kai)關(guan)控(kong)制，工作電(dian)壓(ya)220V，最大(da)輸(shu)出(chu)功(gong)率(lv)800W；

2. 顯微(wei)成像光(guang)路系統(tong)：

a.  單筒顯微(wei)鏡(jing)：變(bian)倍(bei)比(bi)1:6.5，變倍範(fan)圍0.7X-4.5X，標(biao)準工作距離90mm，分辨(bian)率(lv)63-180lp/mm，95mm超長工作距離20倍物鏡(jing)，綜合最大(da)放(fang)大(da)倍(bei)率(lv)850~900倍(bei)；雙固定(ding)位(wei)設(she)計，高(gao)倍放(fang)大(da)下(xia)圖像無(wu)明(ming)顯(xian)抖(dou)動(dong)。

b. 白色(se)LED照明：同軸照明系統(tong)，選用(yong)高(gao)亮度單顆1W LED，色(se)溫(wen)5500K，照明均勻；LED照明控(kong)制器90V-250V寬電(dian)壓(ya),1W LED控(kong)制器，可(ke)調(tiao)光(guang)；

c. 顯微(wei)相機：1920x1080高(gao)靈敏(min)度CMOS傳感器，30fps速(su)度保存(cun)；支(zhi)持HDMI相(xiang)機直(zhi)接輸出(chu)到顯示器；曝光(guang)時間(jian)0.4ms~999ms，自(zi)動白平(ping)衡；支(zhi)持WIFI數據傳(chuan)輸；提(ti)供顯(xian)微(wei)相機操(cao)作軟(ruan)件(jian)，支(zhi)持電(dian)腦控(kong)制，可(ke)軟件(jian)測(ce)量(liang)顯(xian)微(wei)樣品(pin)尺(chi)寸(cun)及角度；工作溫(wen)度-10~ 50攝(she)氏度。

d. 顯微(wei)觀(guan)察(cha)支(zhi)架：壹(yi)體(ti)式高(gao)穩(wen)定(ding)性支(zhi)架，長寬高(gao)240mm*100mm* 100mm，重(zhong)量(liang)20kg，支(zhi)持沿 xy方(fang)向 50mm行程(cheng)，可(ke)大(da)範(fan)圍調(tiao)節(jie)顯(xian)微(wei)鏡(jing)觀(guan)察(cha)位(wei)置(zhi)；

e. 顯示器：24英寸(cun)1920*1200全高(gao)清專(zhuan)業(ye)顯示器。