描(miao)述(shu)：HTIM-300高低(di)溫(wen)材料(liao)電(dian)阻率測(ce)試儀主(zhu)要用於半導體(ti)材料(liao)導電(dian)性能的(de)評(ping)估和(he)測(ce)試，該(gai)系統采用四線電(dian)阻法(fa)測(ce)量原(yuan)理進(jin)行設(she)計(ji)開(kai)發，可以在高溫(wen)、真空(kong)氣(qi)氛的(de)條件下測(ce)量半導體(ti)材料(liao)電(dian)阻和(he)電(dian)阻率，可(ke)以分(fen)析(xi)被測(ce)樣品電(dian)阻和(he)電(dian)阻率隨溫(wen)度(du)、時間(jian)變(bian)化的(de)曲線。目前(qian)主(zhu)要針對(dui)圓片(pian)、方(fang)塊、長條等(deng)測(ce)試樣(yang)品進(jin)行測(ce)試，可(ke)以廣(guang)泛(fan)用於半導體(ti)材料(liao)矽（si）、鍺（ge）,化(hua)合物(wu)半導體(ti)材料(liao)砷(shen)化(hua)鎵(GaAs)、銻化銦(yin)（InSb），三(san)元(yuan)化合物(wu)半導體(ti)GaA

HTIM-300型高低(di)溫(wen)材料(liao)電(dian)阻率測(ce)試儀

HTIM-300高低(di)溫(wen)材料(liao)電(dian)阻率測(ce)試儀主(zhu)要用於半導體(ti)材料(liao)導電(dian)性能的(de)評(ping)估和(he)測(ce)試，該(gai)系統采用四線電(dian)阻法(fa)測(ce)量原(yuan)理進(jin)行設(she)計(ji)開(kai)發，可以在高溫(wen)、真空(kong)氣(qi)氛的(de)條件下測(ce)量半導體(ti)材料(liao)電(dian)阻和(he)電(dian)阻率，可(ke)以分(fen)析(xi)被測(ce)樣品電(dian)阻和(he)電(dian)阻率隨溫(wen)度(du)、時間(jian)變(bian)化的(de)曲線。目前(qian)主(zhu)要針對(dui)圓片(pian)、方(fang)塊、長條等(deng)測(ce)試樣(yang)品進(jin)行測(ce)試，可(ke)以廣(guang)泛(fan)用於半導體(ti)材料(liao)矽（si）、鍺（ge）,化(hua)合物(wu)半導體(ti)材料(liao)砷(shen)化(hua)鎵(GaAs)、銻化銦(yin)（InSb），三(san)元(yuan)化合物(wu)半導體(ti)GaAsAl、GaAsP，固溶(rong)體(ti)半導體(ti)，如Ge-Si、GaAs-GaP等(deng)的(de)塊體(ti)材料(liao)的(de)電(dian)阻率測(ce)量等材料(liao)的(de)電(dian)阻率測(ce)量。

二(er)、主要應用領(ling)域：

半導體(ti)材料(liao)電(dian)阻測(ce)試

復合絕緣(yuan)材料(liao)

陶(tao)瓷材料(liao)

雲母(mu)

玻(bo)璃(li)材料(liao)

導電(dian)功(gong)能薄膜材料(liao)

絕緣(yuan)超(chao)材料(liao)

矽橡膠材料(liao)

PCB材料(liao)
三(san)、主(zhu)要技術參(can)數：
溫(wen)度(du)範圍(wei)：-160℃-600℃
升(sheng)溫(wen)斜(xie)率：0-10℃/min (典(dian)型值(zhi)：3℃/min)
控(kong)溫(wen)精(jing)度(du)：±0.5℃
電(dian)阻測(ce)量範圍(wei)：0.1mΩ~1MΩ
電(dian)阻率測(ce)量範圍(wei)：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測(ce)量環境：惰(duo)性氣(qi)氛、還(hai)原(yuan)氣(qi)氛、真空(kong)氣(qi)氛
測(ce)量方(fang)法(fa)：四線電(dian)阻法(fa)
測(ce)試通(tong)道：單通(tong)道
樣(yang)品尺寸：10mmx10mmX20mm或(huo)φ＜20mm ,d＜5mm
電(dian)極材料(liao)：紫銅(tong)鍍(du)金
絕緣(yuan)材料(liao)：99氧化(hua)鋁陶(tao)瓷
數據存儲格(ge)式(shi)：TXT文本(ben)格式(shi)
數據傳(chuan)輸(shu)：USB
符合標(biao)準：ASTM
供(gong)電(dian)：220V±10%，50Hz
工(gong)作(zuo)溫(wen)度(du)：5℃ 至(zhi) + 40 ℃；
存儲溫(wen)度(du)：–40 ℃ 至(zhi) +65 ℃
工(gong)作(zuo)濕度(du)：+40 ℃ 時，相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)高達(da) 95%（無冷(leng)凝(ning)）
設(she)備尺寸：400x450x580mm
重(zhong)量：38kg

案(an)列(lie)：交(jiao)付中(zhong)科(ke)院上(shang)海(hai)微(wei)電(dian)子系(xi)統研究所

現場(chang)交(jiao)付圖(tu)

能提供(gong)從-190℃到(dao)600℃溫(wen)度(du)範圍(wei)內(nei)的(de)精(jing)準控(kong)制。

   現場(chang)實(shi)驗測(ce)試變(bian)溫(wen)電(dian)阻測(ce)試數據（二(er)）

測(ce)試樣(yang)品為(wei)高阻材料(liao)，實驗顯(xian)示(shi)隨溫(wen)度(du)升(sheng)高，材料(liao)電(dian)阻在高溫(wen)下驟降(jiang)。在本次交(jiao)付中(zhong)，針(zhen)對(dui)客(ke)戶(hu)需(xu)求(qiu)，對(dui)配套(tao)軟件進行了(le)定制。

包(bao)含(han)兩(liang)種測(ce)試模(mo)式(shi)：

①RT測(ce)試：樣(yang)品電(dian)阻隨溫(wen)度(du)變化(hua)；

②數據時間(jian)譜(pu)測(ce)試：到(dao)達設(she)定(ding)溫(wen)度(du)後，樣(yang)品電(dian)阻隨時間(jian)變(bian)化。