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          聲學所(suo)ZJ-3 型精(jing)密 D33 測試儀的(de)結(jie)構及原理(li)

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          中國院(yuan)聲學所(suo)ZJ-3 型精(jing)密 D33 測試儀的(de)設(she)計(ji)與(yu)應用(yong)

          摘(zhai)要(yao)

          本文(wen)詳細(xi)介紹(shao)了(le) ZJ-3 型(xing)精(jing)密 D33 測試(shi)儀(yi),闡述其在壓(ya)電材(cai)料(liao)研(yan)究(jiu)中的(de)重要(yao)性(xing)。通過對(dui)儀器(qi)的(de)工(gong)作(zuo)原理(li)、結(jie)構設(she)計(ji)、技(ji)術(shu)參(can)數(shu)、操(cao)作方(fang)法、性(xing)能(neng)測(ce)試及應用(yong)案(an)例(li)等(deng)方(fang)面的(de)分(fen)析,展示了該(gai)測(ce)試(shi)儀(yi)在測量壓(ya)電材(cai)料(liao) d33 常(chang)數(shu)方(fang)面的(de)優(you)勢(shi)。研究(jiu)表明,ZJ-3 型(xing)精密 D33 測(ce)試(shi)儀具(ju)有(you)測(ce)量範圍(wei)寬(kuan)、分(fen)辨率(lv)高、可靠性(xing)強(qiang)、操(cao)作簡(jian)便(bian)等(deng)特點(dian),能為(wei)壓(ya)電材(cai)料(liao)及(ji)壓(ya)電元件(jian)的(de)生產、應用(yong)與(yu)研究(jiu)提(ti)供準(zhun)確(que)的(de)數(shu)據支持,推(tui)動相關(guan)領域(yu)的(de)發(fa)展。

          關(guan)鍵詞

          ZJ-3 型(xing)測(ce)試(shi)儀;壓(ya)電材(cai)料(liao);d33 常(chang)數(shu);測量精度

          壹(yi)、引(yin)言(yan)

          壓(ya)電材(cai)料(liao)在現代科(ke)技(ji)領域(yu)中具(ju)有(you)廣(guang)泛的(de)應用(yong),如(ru)傳(chuan)感(gan)器(qi)、執行器(qi)、超(chao)聲換(huan)能(neng)器(qi)等(deng)。準(zhun)確(que)測量(liang)壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de)性(xing)能(neng)參(can)數(shu)對於(yu)其應用(yong)和發(fa)展至(zhi)關(guan)重要(yao)。d33 常數(shu)作為壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de)重要(yao)參(can)數(shu)之壹,反映了材(cai)料(liao)在縱向受力(li)時產生電荷的(de)能(neng)力(li)。ZJ-3 型精密 D33 測試儀是(shi)專(zhuan)門(men)為測(ce)量壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數而設(she)計(ji)的(de)儀(yi)器(qi),其性(xing)能(neng)直(zhi)接(jie)影(ying)響(xiang)到(dao)對(dui)壓(ya)電材(cai)料(liao)性(xing)能(neng)評估的(de)準(zhun)確(que)性(xing)。本(ben)文(wen)將對(dui) ZJ-3 型精(jing)密 D33 測(ce)試(shi)儀(yi)進(jin)行深入研(yan)究(jiu),介(jie)紹(shao)其(qi)工(gong)作(zuo)原理(li)、結(jie)構設(she)計(ji)、技(ji)術(shu)參(can)數(shu)、操(cao)作方(fang)法、性(xing)能(neng)測(ce)試及應用(yong)案(an)例(li)等(deng)方(fang)面的(de)內(nei)容。

          二、ZJ-3 型(xing)精密 D33 測試(shi)儀(yi)概述

          2.1 壓(ya)電材(cai)料(liao)與(yu) d33 常(chang)數

          壓(ya)電材(cai)料(liao)是(shi)壹(yi)類(lei)能(neng)夠將機械(xie)能與(yu)電能相互轉換(huan)的(de)功能材(cai)料(liao)。當(dang)壓(ya)電材(cai)料(liao)受到(dao)外力(li)作用時,會在其表面產(chan)生電荷,這(zhe)種現象(xiang)稱(cheng)為正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應;反(fan)之(zhi),當在壓(ya)電材(cai)料(liao)上(shang)施(shi)加(jia)電場時,材(cai)料(liao)會(hui)發(fa)生形變(bian),這(zhe)就(jiu)是(shi)逆(ni)壓(ya)電效(xiao)應。d33 常(chang)數(shu)是(shi)描(miao)述壓(ya)電材(cai)料(liao)正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應中縱向壓(ya)電性(xing)能(neng)的(de)重要(yao)參(can)數(shu),其定義為單位應力(li)作用下在垂(chui)直(zhi)於(yu)應力(li)方(fang)向的(de)電極(ji)面上(shang)產(chan)生的(de)電荷密度,單(dan)位為 pC/N。d33 常數的(de)大(da)小直(zhi)接(jie)反(fan)映了壓(ya)電材(cai)料(liao)在縱向受力(li)時產生電荷的(de)能(neng)力(li),對於(yu)評估壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de)性(xing)能(neng)和應用(yong)潛(qian)力(li)具(ju)有(you)關(guan)鍵意(yi)義。在實(shi)際(ji)應用(yong)中,如(ru)壓(ya)電傳(chuan)感(gan)器(qi)利(li)用(yong)正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應將外界(jie)壓(ya)力(li)、振動等(deng)機械(xie)信號(hao)轉換(huan)為(wei)電信號(hao)進(jin)行檢測(ce),d33 常數(shu)越大(da),傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)靈(ling)敏(min)度越(yue)高;在壓(ya)電執行器(qi)中,利(li)用(yong)逆(ni)壓(ya)電效(xiao)應將電信號(hao)轉換(huan)為(wei)機械(xie)位移(yi),d33 常數(shu)影(ying)響(xiang)著執行器(qi)的(de)輸(shu)出位移(yi)和驅(qu)動力(li)。因此,準(zhun)確(que)測量(liang) d33 常數對於(yu)壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de)研(yan)究(jiu)、開(kai)發(fa)和應用(yong)至(zhi)關(guan)重要(yao)。

          2.2 ZJ-3 型測(ce)試儀的(de)研(yan)發(fa)背(bei)景(jing)與(yu)意(yi)義

          隨著壓(ya)電材(cai)料(liao)在電子、通信、能(neng)源、醫療等(deng)眾(zhong)多領域(yu)的(de)廣(guang)泛應用(yong),對(dui)壓(ya)電材(cai)料(liao)性(xing)能(neng)的(de)精(jing)確(que)測量(liang)需求日(ri)益迫切。傳(chuan)統(tong)的(de)測(ce)量方(fang)法和儀(yi)器(qi)在測量精(jing)度、測(ce)量(liang)範圍(wei)、操(cao)作便(bian)利(li)性(xing)等(deng)方(fang)面存(cun)在壹定的(de)局(ju)限(xian)性(xing),難以滿(man)足現代科(ke)研(yan)和生產對(dui)壓(ya)電材(cai)料(liao)性(xing)能(neng)高精度測(ce)量(liang)的(de)要(yao)求。在此背(bei)景(jing)下,研發(fa)壹款(kuan)性(xing)能(neng)的(de) d33 常(chang)數測量儀(yi)器(qi)具(ju)有(you)重要(yao)的(de)現(xian)實(shi)意(yi)義。ZJ-3 型精(jing)密 D33 測試儀(yi)應運而生,它是(shi)科(ke)研(yan)人員經過(guo)深入研(yan)究(jiu)和不斷(duan)優(you)化(hua)設(she)計(ji)的(de)成果(guo)。該(gai)測(ce)試儀(yi)的(de)研(yan)發(fa)旨在解決(jue)現有(you)測(ce)量(liang)儀器(qi)存(cun)在的(de)問(wen)題,為壓(ya)電材(cai)料(liao)及(ji)壓(ya)電元件(jian)的(de)生產、應用(yong)與(yu)研究(jiu)提(ti)供可靠的(de)測(ce)量手段(duan)。通過精(jing)確(que)測量(liang) d33 常數,能夠更準(zhun)確(que)地(di)評估壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de)性(xing)能(neng),為(wei)材(cai)料(liao)的(de)選(xuan)擇、優(you)化(hua)和創(chuang)新(xin)提(ti)供有(you)力(li)的(de)數(shu)據支持,從而推(tui)動壓(ya)電材(cai)料(liao)相關(guan)技(ji)術(shu)的(de)發(fa)展和應用(yong)領域(yu)的(de)拓(tuo)展。在材(cai)料(liao)研(yan)發(fa)過程中,科(ke)研(yan)人員可以根據 ZJ-3 型測試儀(yi)提(ti)供的(de)準(zhun)確(que) d33 數據,篩(shai)選(xuan)出性(xing)能(neng)更(geng)優(you)的(de)壓(ya)電材(cai)料(liao)配(pei)方(fang)和制備(bei)工(gong)藝,提(ti)高材(cai)料(liao)的(de)性(xing)能(neng)和質(zhi)量;在生產過(guo)程中,制造(zao)商可以利(li)用(yong)該(gai)測(ce)試儀對產品進行質(zhi)量檢測(ce)和控制,確(que)保產(chan)品的(de)壓(ya)電性(xing)能(neng)符(fu)合(he)標(biao)準(zhun),提(ti)高產品的(de)壹(yi)致(zhi)性(xing)和可靠性(xing)。

          三(san)、工(gong)作(zuo)原理(li)

          3.1 正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應原理(li)基礎

          正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應是(shi) ZJ-3 型(xing)精(jing)密(mi) D33 測試(shi)儀工(gong)作(zuo)的(de)基礎原理(li)。當(dang)壓(ya)電材(cai)料(liao)受到(dao)外力(li)作用時,其內部的(de)晶體結(jie)構會發(fa)生變(bian)形,導(dao)致(zhi)正(zheng)負電荷中心(xin)發(fa)生相對位移(yi),從而在材(cai)料(liao)的(de)表面產(chan)生感(gan)應電荷。這(zhe)種電荷的(de)產(chan)生與外力(li)的(de)大(da)小和方(fang)向密(mi)切相關(guan)。根據壓(ya)電方(fang)程,對(dui)於(yu)各向(xiang)異(yi)性(xing)的(de)壓(ya)電材(cai)料(liao),其(qi)電位移(yi)與應力(li)之間存(cun)在線性(xing)關(guan)系(xi),在縱向受力(li)情況下,d33 常數(shu)與電位移(yi)和應力(li)的(de)關(guan)系(xi)可表示為:,其(qi)中為(wei)電位移(yi),為縱向應力(li)。這(zhe)壹關(guan)系(xi)表明,在已知應力(li)的(de)情(qing)況下,通過測(ce)量電位移(yi)即可計算(suan)出(chu) d33 常(chang)數。在實(shi)際(ji)測量(liang)中,當(dang)在壓(ya)電材(cai)料(liao)試(shi)樣(yang)上施(shi)加(jia)壹個垂(chui)直(zhi)於(yu)其極(ji)化方(fang)向的(de)外力(li)時,根據正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應,在與極(ji)化方(fang)向垂(chui)直(zhi)的(de)兩個(ge)表面上(shang)會(hui)產(chan)生等(deng)量(liang)異(yi)號的(de)電荷。這(zhe)些電荷的(de)多(duo)少與施(shi)加(jia)的(de)外力(li)大(da)小成正(zheng)比,與材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數也成正(zheng)比。例(li)如,對於(yu)壹塊(kuai)壓(ya)電陶瓷試樣(yang),當在其厚度方(fang)向上(shang)施(shi)加(jia)壓(ya)力(li)時,在試樣(yang)的(de)兩個(ge)表面會(hui)產(chan)生電荷,通過測(ce)量這(zhe)些電荷的(de)密(mi)度,結(jie)合(he)施(shi)加(jia)的(de)壓(ya)力(li)大(da)小,就(jiu)可以利(li)用(yong)上(shang)述公式(shi)計算(suan)出(chu)該(gai)壓(ya)電陶瓷的(de) d33 常(chang)數。

          3.2 測試儀(yi)的(de)測(ce)量原理(li)詳(xiang)述

          ZJ-3 型精(jing)密 D33 測試儀采(cai)用準(zhun)靜(jing)態測量方(fang)法來測量壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數。在儀器(qi)測量頭內(nei),壹(yi)個頻率(lv)約為 110Hz、大(da)小約(yue)為(wei) 0.25N 的(de)低(di)頻交(jiao)變(bian)力(li),通過上(shang)下探頭均勻(yun)地(di)施(shi)加(jia)到標(biao)準(zhun)樣(yang)品與被(bei)測(ce)試樣(yang)上。根據正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應,標(biao)準(zhun)樣(yang)品和被(bei)測(ce)試樣(yang)在受到(dao)外力(li)作用時,都會產生相應的(de)電信號(hao)。這(zhe)兩個(ge)電信號(hao)首(shou)先經過(guo)高靈(ling)敏(min)度的(de)電荷放大(da)器(qi)進行放大(da),以(yi)提(ti)高信號(hao)的(de)強(qiang)度,便(bian)於(yu)後(hou)續處(chu)理(li)。放大(da)後(hou)的(de)信號(hao)再經過(guo)檢波電路(lu),將交(jiao)流(liu)信號(hao)轉換(huan)為(wei)直(zhi)流(liu)信號(hao),以(yi)便(bian)於(yu)測量(liang)和分(fen)析。之後(hou),通過相除電路(lu)對兩個(ge)信號(hao)進(jin)行處(chu)理(li),消(xiao)除(chu)由於(yu)外力(li)波動、環境幹擾(rao)等(deng)因(yin)素對(dui)測量結(jie)果(guo)的(de)影(ying)響(xiang)。經過(guo)上(shang)述必要(yao)的(de)處(chu)理(li)後(hou),最(zui)終將代表被(bei)測(ce)試樣(yang) d33 常數(shu)大(da)小及(ji)極(ji)性(xing)的(de)信號(hao)送(song)至(zhi)三(san)位半數字面板(ban)表上直(zhi)接(jie)顯示。在測量過(guo)程中,為(wei)了(le)滿(man)足測量 d33 常數時的(de)恒(heng)定(ding)電場邊界(jie)條件(jian),在儀器(qi)測量頭內(nei),與(yu)被(bei)測(ce)試樣(yang)並聯了壹(yi)個(ge)比(bi)試樣(yang)電容大(da)很(hen)多(如大(da) 100 倍)的(de)大(da)電容。這(zhe)樣(yang)可以保證(zheng)在測量過(guo)程中,電場強度基本保(bao)持(chi)恒(heng)定(ding),從而提(ti)高測量的(de)準(zhun)確(que)性(xing)。這(zhe)種準(zhun)靜(jing)態測量方(fang)法相較(jiao)於(yu)通常的(de)靜(jing)態法,能夠有效(xiao)減小由(you)於(yu)壓(ya)電非線性(xing)及(ji)熱(re)釋電效(xiao)應帶(dai)來的(de)測(ce)量誤(wu)差。靜態法由(you)於(yu)存(cun)在這(zhe)些因素的(de)影(ying)響(xiang),測(ce)量(liang)誤(wu)差可達 30% - 50%,而 ZJ-3 型測試(shi)儀采(cai)用的(de)準(zhun)靜(jing)態法能夠將測(ce)量誤(wu)差控制在較(jiao)小範圍(wei)內(nei),提(ti)高了測量結(jie)果(guo)的(de)可靠性(xing)。

          四(si)、結(jie)構設(she)計(ji)

          4.1 整體結(jie)構布局

          ZJ-3 型精密(mi) D33 測試儀(yi)主(zhu)要(yao)由施(shi)力(li)裝置、信號(hao)處(chu)理(li)單(dan)元和顯示單元(yuan)三(san)大(da)部(bu)分(fen)組(zu)成。施(shi)力(li)裝置位於(yu)儀器(qi)的(de)前端,其(qi)作(zuo)用是(shi)向(xiang)被(bei)測(ce)壓(ya)電材(cai)料(liao)試(shi)樣(yang)施(shi)加(jia)穩定(ding)、準(zhun)確(que)的(de)外力(li)。施(shi)力(li)裝置采(cai)用了(le)精密的(de)機械(xie)結(jie)構設(she)計(ji),能(neng)夠確(que)保施(shi)加(jia)的(de)力(li)大(da)小均勻(yun)、方(fang)向垂(chui)直(zhi)於(yu)試樣(yang)表面。信號(hao)處(chu)理(li)單(dan)元位於(yu)儀器(qi)的(de)內(nei)部核心(xin)位置,它負責(ze)對(dui)由(you)正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應產(chan)生的(de)電信號(hao)進(jin)行放大(da)、檢波、相除等(deng)壹(yi)系(xi)列處理(li)。信號(hao)處(chu)理(li)單(dan)元采(cai)用了(le)先進(jin)的(de)電子元(yuan)器(qi)件(jian)和電路(lu)設(she)計(ji),具(ju)有(you)高靈(ling)敏(min)度、低(di)噪(zao)聲的(de)特點(dian),能夠有效(xiao)提(ti)高測量信號(hao)的(de)質(zhi)量和準(zhun)確(que)性(xing)。顯示單元(yuan)位於(yu)儀器(qi)的(de)面板(ban)上(shang),采(cai)用三(san)位半數字面板(ban)表,清晰(xi)直(zhi)觀地(di)顯示測量(liang)結(jie)果(guo),包(bao)括(kuo) d33 常數的(de)大(da)小和極(ji)性(xing)。儀(yi)器(qi)的(de)整體結(jie)構布局緊(jin)湊(cou)合(he)理(li),各(ge)部分(fen)之(zhi)間相互協(xie)調,便(bian)於(yu)操(cao)作和維護(hu)。在儀器(qi)的(de)外殼(ke)設(she)計(ji)上(shang),采(cai)用了(le)堅(jian)固耐(nai)用(yong)的(de)材(cai)料(liao),既(ji)能(neng)有效(xiao)保護(hu)內部的(de)電子元(yuan)器(qi)件(jian)和機械(xie)結(jie)構,又具(ju)有(you)良(liang)好(hao)的(de)散熱(re)性(xing)能(neng),確(que)保儀(yi)器(qi)在長時間工(gong)作(zuo)過(guo)程(cheng)中能(neng)夠保持穩定(ding)的(de)性(xing)能(neng)。

          4.2 關(guan)鍵部件(jian)設(she)計(ji)

          1. 施(shi)力(li)裝置設(she)計(ji):施(shi)力(li)裝置的(de)核(he)心(xin)部件(jian)是(shi)力(li)產生機構和力(li)傳(chuan)遞(di)機構。力(li)產生機構采(cai)用了(le)高精度的(de)電磁(ci)驅動裝置,通過精(jing)確(que)控制電流(liu)大(da)小和頻率(lv),能夠產生穩定(ding)的(de)低(di)頻交(jiao)變(bian)力(li)。力(li)傳(chuan)遞(di)機構采(cai)用了(le)剛性(xing)好(hao)、精(jing)度高的(de)連桿和探(tan)頭,能(neng)夠將力(li)準(zhun)確(que)地(di)傳(chuan)遞(di)到(dao)被(bei)測(ce)試樣(yang)上,並且保(bao)證力(li)的(de)作(zuo)用方(fang)向垂(chui)直(zhi)於(yu)試樣(yang)表面。在設(she)計(ji)過(guo)程中,對(dui)施(shi)力(li)裝置的(de)各(ge)個部件(jian)進(jin)行了(le)優(you)化(hua),以減小摩擦(ca)力(li)和慣性(xing)力(li)對力(li)傳(chuan)遞(di)的(de)影(ying)響(xiang),提(ti)高力(li)的(de)施(shi)加(jia)精度。通過對(dui)力(li)產生機構和力(li)傳(chuan)遞(di)機構的(de)精(jing)心(xin)設(she)計(ji)和調(tiao)試(shi),使得(de)施(shi)力(li)裝置能夠產生大(da)小約(yue)為(wei) 0.25N、頻率(lv)約為 110Hz 的(de)穩定(ding)交(jiao)變(bian)力(li),滿(man)足準(zhun)靜(jing)態測量方(fang)法對(dui)施(shi)力(li)的(de)要(yao)求。

          2. 信號(hao)處(chu)理(li)電路(lu)設(she)計(ji):信號(hao)處(chu)理(li)電路(lu)是(shi) ZJ-3 型(xing)測(ce)試(shi)儀的(de)關(guan)鍵部分(fen)之(zhi)壹(yi),它(ta)直(zhi)接(jie)影(ying)響(xiang)著測量結(jie)果(guo)的(de)準(zhun)確(que)性(xing)和可靠性(xing)。信號(hao)處(chu)理(li)電路(lu)主要(yao)包括(kuo)電荷放大(da)器(qi)、檢波電路(lu)和相除電路(lu)。電荷放大(da)器(qi)采(cai)用了(le)高輸入阻抗、低噪(zao)聲的(de)運算(suan)放大(da)器(qi),能夠將微(wei)弱的(de)電荷信號(hao)放大(da)到(dao)適合(he)後(hou)續處(chu)理(li)的(de)幅度。檢波電路(lu)采(cai)用了(le)精密的(de)二極(ji)管(guan)檢波電路(lu),能夠將放大(da)後(hou)的(de)交(jiao)流(liu)信號(hao)準(zhun)確(que)地(di)轉換(huan)為(wei)直(zhi)流(liu)信號(hao)。相除電路(lu)采(cai)用了(le)模擬除法器(qi),通過對(dui)標(biao)準(zhun)樣(yang)品和被(bei)測(ce)試樣(yang)產生的(de)電信號(hao)進(jin)行相除運算(suan),消(xiao)除(chu)了外界(jie)幹擾(rao)因素對(dui)測量結(jie)果(guo)的(de)影(ying)響(xiang),提(ti)高了測量的(de)精(jing)度。在電路(lu)設(she)計(ji)過(guo)程中,充分(fen)考(kao)慮(lv)了電路(lu)的(de)抗幹擾(rao)能力(li)和穩定(ding)性(xing),采(cai)用了(le)屏蔽、濾波等(deng)措施(shi),減少(shao)外界(jie)電磁(ci)幹擾(rao)對信號(hao)處(chu)理(li)的(de)影(ying)響(xiang)。通過對(dui)信號(hao)處(chu)理(li)電路(lu)的(de)優(you)化(hua)設(she)計(ji),使(shi)得測試(shi)儀(yi)能(neng)夠準(zhun)確(que)地(di)測量和處(chu)理(li)壓(ya)電材(cai)料(liao)產(chan)生的(de)微(wei)弱電信號(hao),為(wei)準(zhun)確(que)測量(liang) d33 常數提(ti)供了(le)保(bao)障。

          五(wu)、技術(shu)參(can)數(shu)

          5.1 d33 測量範圍(wei)

          ZJ-3 型(xing)精(jing)密(mi) D33 測(ce)試儀具(ju)有(you)較(jiao)寬(kuan)的(de) d33 測(ce)量範圍(wei),分(fen)為(wei)兩檔(dang):


          1. ×1 擋:測量範圍(wei)為(wei) 10 到(dao) 2000pC/N,可升(sheng)級至(zhi) 20 至(zhi) 4000pC/N,甚至(zhi)能(neng)夠進壹步(bu)升(sheng)級到 10000pC/N。這(zhe)壹範圍(wei)能(neng)夠滿(man)足大(da)多(duo)數具(ju)有(you)較(jiao)大(da)壓(ya)電常數的(de)壓(ya)電陶瓷材(cai)料(liao)的(de)測(ce)量需求。在實(shi)際(ji)應用(yong)中,許(xu)多(duo)常(chang)用(yong)的(de)壓(ya)電陶瓷材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數都在這(zhe)個範圍(wei)內(nei),例(li)如 PZT 系(xi)列壓(ya)電陶瓷,其 d33 常數(shu)通常在幾百到幾千(qian) pC/N 之(zhi)間,ZJ-3 型(xing)測(ce)試儀(yi)的(de) ×1 擋能夠對其進(jin)行準(zhun)確(que)測量(liang)。

          2. ×0.1 擋:測量範圍(wei)為(wei) 1 到(dao) 200pC/N,可擴展至(zhi) 2 至(zhi) 400pC/N。該(gai)擋位主要(yao)用於(yu)測量(liang)小壓(ya)電常數的(de)壓(ya)電單晶及壓(ya)電高分(fen)子材(cai)料(liao)。壹(yi)些(xie)新(xin)型(xing)的(de)壓(ya)電單晶材(cai)料(liao)或壓(ya)電高分(fen)子材(cai)料(liao),其(qi) d33 常(chang)數相對較(jiao)小,在幾 pC/N 到幾(ji)十 pC/N 之(zhi)間,×0.1 擋能夠滿(man)足對這(zhe)類材(cai)料(liao)的(de)精(jing)確(que)測量(liang)要(yao)求。較(jiao)寬(kuan)的(de)測(ce)量範圍(wei)使(shi)得(de) ZJ-3 型(xing)測(ce)試儀能夠適應不同類型、不同性(xing)能(neng)壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de)測(ce)量需求,具(ju)有(you)廣(guang)泛的(de)適用(yong)性(xing)。

          5.2 分(fen)辨率(lv)

          測試儀(yi)在不同擋位下具(ju)有(you)高分(fen)辨率(lv):


          1. ×1 擋:分(fen)辨率(lv)為 1pC/N。這(zhe)意(yi)味著在該擋位下,測試(shi)儀能(neng)夠精確(que)分(fen)辨出 d33 常數的(de)微(wei)小變(bian)化(hua),即(ji)使(shi) d33 常(chang)數的(de)變(bian)化(hua)量(liang)僅(jin)為(wei) 1pC/N,測(ce)試(shi)儀(yi)也能夠準(zhun)確(que)地(di)檢測(ce)到並在顯示面板(ban)上(shang)體現出(chu)來。這(zhe)種高分(fen)辨率(lv)對於(yu)測量(liang)具(ju)有(you)較(jiao)大(da) d33 常(chang)數且需(xu)要(yao)精確(que)測量(liang)其細(xi)微變(bian)化(hua)的(de)壓(ya)電材(cai)料(liao)非常(chang)重要(yao),例(li)如在研究(jiu)壓(ya)電陶瓷材(cai)料(liao)的(de)性(xing)能(neng)優(you)化(hua)過程(cheng)中,可能需要(yao)觀察(cha) d33 常(chang)數隨著制備(bei)工(gong)藝參(can)數(shu)改(gai)變(bian)而發(fa)生的(de)微(wei)小變(bian)化(hua),×1 擋的(de)高分(fen)辨率(lv)能夠滿(man)足這(zhe)壹需求。

          2. ×0.1 擋:分(fen)辨率(lv)為 0.1pC/N。在測量小壓(ya)電常數的(de)材(cai)料(liao)時(shi),×0.1 擋的(de)高分(fen)辨率(lv)能夠確(que)保對(dui)微小 d33 常(chang)數(shu)的(de)精(jing)確(que)測量(liang)。對於(yu)那些(xie) d33 常數(shu)在幾 pC/N 到幾(ji)十 pC/N 範圍(wei)內(nei)的(de)壓(ya)電單晶或壓(ya)電高分(fen)子材(cai)料(liao),0.1pC/N 的(de)分(fen)辨率(lv)能夠提(ti)供非常(chang)準(zhun)確(que)的(de)測(ce)量結(jie)果(guo),為(wei)研(yan)究(jiu)這(zhe)類材(cai)料(liao)的(de)壓(ya)電性(xing)能(neng)提(ti)供可靠的(de)數(shu)據支持。高分(fen)辨率(lv)保證了(le)測試(shi)儀能夠對壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de) d33 常(chang)數進行精(jing)細(xi)測量(liang),提(ti)高了測量結(jie)果(guo)的(de)準(zhun)確(que)性(xing)和可靠性(xing)。

          5.3 誤(wu)差範圍(wei)

          ZJ-3 型(xing)測(ce)試(shi)儀(yi)在不同測量範圍(wei)內(nei)具(ju)有(you)嚴格(ge)控制的(de)誤(wu)差範圍(wei):


          1. ×1 擋:當 d33 在 100 到 4000pC/N 時,誤(wu)差為 ±2%±1 個數字(zi)。例(li)如,當測(ce)量壹(yi)個 d33 常(chang)數(shu)為(wei) 1000pC/N 的(de)壓(ya)電材(cai)料(liao)試(shi)樣(yang)時,根據誤(wu)差範圍(wei),測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)可能在 1000×(1 - 2%) - 1 到 1000×(1 + 2%) + 1 之間,即(ji) 979 到(dao) 1021pC/N 之間。當(dang) d33 在 10 到 200pC/N 時,誤(wu)差為 ±5%±1 個數字(zi)。這(zhe)是(shi)因(yin)為(wei)在較(jiao)低(di)的(de) d33 常(chang)數範圍(wei)內(nei),測(ce)量(liang)難度相對較(jiao)大(da),外界(jie)幹擾(rao)因素對(dui)測量結(jie)果(guo)的(de)影(ying)響(xiang)相對更明顯,所(suo)以誤(wu)差範圍(wei)適當(dang)放寬(kuan),但仍能保(bao)證在可接(jie)受的(de)範圍(wei)內(nei),以(yi)確(que)保測(ce)量結(jie)果(guo)的(de)可靠性(xing)。

          2. ×0.1 擋:當 d33 在 10 到 200pC/N 時,誤(wu)差為 ±2%±1 個數字(zi)。在該擋位下,對於(yu)小壓(ya)電常數材(cai)料(liao)的(de)測(ce)量,能夠保證較(jiao)高的(de)測(ce)量精度,誤(wu)差控制在較(jiao)小範圍(wei)內(nei),為(wei)研(yan)究(jiu)小壓(ya)電常數材(cai)料(liao)的(de)性(xing)能(neng)提(ti)供了(le)準(zhun)確(que)的(de)數(shu)據基礎。嚴格(ge)控制的(de)誤(wu)差範圍(wei)表明 ZJ-3 型(xing)測試儀(yi)具(ju)有(you)較(jiao)高的(de)測(ce)量準(zhun)確(que)性(xing),能(neng)夠為壓(ya)電材(cai)料(liao)的(de)研(yan)究(jiu)和應用(yong)提(ti)供可靠的(de)數(shu)據支持。

          5.4 其(qi)他(ta)參(can)數(shu)

          1. 尺寸:施(shi)力(li)裝置尺寸為 Φ110×140mm,儀(yi)器(qi)本體尺寸為 240×200×80mm。這(zhe)樣(yang)的(de)尺寸設(she)計(ji)使(shi)得儀器(qi)整體結(jie)構緊(jin)湊(cou),既方(fang)便(bian)操(cao)作,又(you)便(bian)於(yu)攜帶(dai)和安(an)裝。施(shi)力(li)裝置的(de)尺寸設(she)計(ji)能(neng)夠保證其(qi)穩定(ding)地(di)施(shi)加(jia)外力(li),同時不會占(zhan)用過(guo)多空(kong)間;儀(yi)器(qi)本體的(de)尺寸設(she)計(ji)兼(jian)顧(gu)了(le)內部(bu)電子元(yuan)器(qi)件(jian)的(de)布局和散熱(re)需求,以及(ji)操(cao)作人員對(dui)儀器(qi)操(cao)作的(de)便(bian)捷(jie)性(xing)。

          2. 重量:施(shi)力(li)裝置約 4 公斤,儀(yi)器(qi)本體 2 公斤。較(jiao)輕(qing)的(de)重量使(shi)得儀器(qi)在使用和搬運過(guo)程中更(geng)加(jia)方(fang)便(bian),無(wu)論(lun)是(shi)在實(shi)驗(yan)室環境中進(jin)行常(chang)規(gui)測(ce)量(liang),還(hai)是(shi)需(xu)要(yao)在不同地(di)點(dian)進行現(xian)場(chang)測(ce)試(shi),都能夠輕松移(yi)動和部(bu)署(shu)。

          3. 電源:使用(yong) 220 伏,50 赫的(de)交(jiao)流(liu)電源,功率(lv)為 20 瓦。這(zhe)種常見(jian)的(de)電源規格(ge)使得(de)儀(yi)器(qi)能夠方(fang)便(bian)地(di)接(jie)入(ru)各種實(shi)驗(yan)場所(suo)的(de)供電系(xi)統,20 瓦的(de)低(di)功率(lv)設(she)計(ji)既(ji)滿(man)足了儀器(qi)正(zheng)常工(gong)作(zuo)的(de)需(xu)求,又具(ju)有(you)較(jiao)低(di)的(de)能(neng)耗(hao),節(jie)能(neng)環保(bao)。

          六(liu)、操(cao)作方(fang)法

          6.1 測(ce)試前準(zhun)備(bei)

          1. 儀器(qi)檢查(zha):在使用 ZJ-3 型(xing)精密(mi) D33 測試(shi)儀之前,首先要(yao)對儀(yi)器(qi)進行全面檢查(zha)。檢查(zha)儀(yi)器(qi)外觀是(shi)否(fou)有損壞,各(ge)部(bu)件(jian)連接(jie)是(shi)否(fou)牢固。查(zha)看(kan)施(shi)力(li)裝置的(de)探(tan)頭是(shi)否(fou)有磨損(sun)或變(bian)形,如(ru)有(you)問題應及(ji)時(shi)更換或修復(fu),以確(que)保施(shi)力(li)的(de)準(zhun)確(que)性(xing)。檢查(zha)儀(yi)器(qi)的(de)電源線是(shi)否(fou)連接(jie)正(zheng)確(que),插頭插(cha)座是(shi)否(fou)松動。打開儀器(qi)電源,觀察(cha)儀(yi)器(qi)面板(ban)上(shang)的(de)指(zhi)示燈(deng)是(shi)否(fou)正(zheng)常亮起,顯示單元(yuan)是(shi)否(fou)正(zheng)常顯示。如果(guo)發(fa)現儀器(qi)存(cun)在故(gu)障或異(yi)常情(qing)況(kuang),應立(li)即(ji)停止使用,並進行維修或調(tiao)試(shi)。

          2. 試(shi)樣(yang)準(zhun)備(bei):對待測試樣(yang)進行嚴格(ge)的(de)預(yu)處(chu)理(li)。首(shou)先,根據測量要(yao)求,選(xuan)擇合(he)適尺寸和形狀(zhuang)的(de)壓(ya)電材(cai)料(liao)試(shi)樣(yang),如圓(yuan)片(pian)、圓(yuan)環(huan)、圓管(guan)、方(fang)塊(kuai)、長條、柱形及(ji)半(ban)球殼等(deng)均可。對試樣(yang)的(de)表面進(jin)行清(qing)潔(jie)處(chu)理(li),去除(chu)表面的(de)油汙(wu)、灰(hui)塵等(deng)雜質(zhi),以保證(zheng)試樣(yang)與測(ce)量(liang)探(tan)頭之(zhi)間良(liang)好(hao)的(de)電氣接(jie)觸(chu)。對於(yu)壓(ya)電陶瓷試樣(yang),需要(yao)進行極(ji)化處(chu)理(li),使(shi)其具(ju)有(you)穩定(ding)的(de)壓(ya)電性(xing)能(neng)。在進行極(ji)化處(chu)理(li)時(shi),要(yao)嚴格(ge)控制極(ji)化電場強度、極(ji)化時(shi)間和極(ji)化溫(wen)度等(deng)參(can)數(shu),以確(que)保極(ji)化效(xiao)果(guo)的(de)壹(yi)致(zhi)性(xing)。極(ji)化後(hou)的(de)試(shi)樣(yang)應放置(zhi)壹(yi)段(duan)時間,使(shi)其(qi)壓(ya)電性(xing)能(neng)穩定(ding)後(hou)再進行測(ce)量(liang)。根據試樣(yang)的(de)類(lei)型和尺寸,選(xuan)擇合(he)適的(de)夾具(ju)將試(shi)樣(yang)固定(ding)在施(shi)力(li)裝置的(de)測(ce)量位置上,確(que)保試(shi)樣(yang)安(an)裝牢固,受力(li)均勻(yun)。

          3. 儀(yi)器(qi)校準(zhun):為(wei)了保證測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)的(de)準(zhun)確(que)性(xing),在每(mei)次(ci)測量(liang)前需要(yao)對儀(yi)器(qi)進行校(xiao)準(zhun)。使(shi)用已知 d33 常(chang)數(shu)的(de)標(biao)準(zhun)樣(yang)品進行校(xiao)準(zhun)操(cao)作。將標(biao)準(zhun)樣(yang)品安(an)裝在施(shi)力(li)裝置上,按(an)照(zhao)正(zheng)常測量步驟(zhou)進行操(cao)作,記(ji)錄儀(yi)器(qi)顯示的(de)測(ce)量值(zhi)。將測(ce)量值(zhi)與標(biao)準(zhun)樣(yang)品的(de)已知 d33 常(chang)數(shu)進(jin)行比(bi)較(jiao),如(ru)果(guo)測(ce)量(liang)值(zhi)與標(biao)準(zhun)值(zhi)之間的(de)偏(pian)差(cha)超(chao)出(chu)了儀器(qi)規定的(de)誤(wu)差範圍(wei),則需要(yao)對儀(yi)器(qi)進行校(xiao)準(zhun)調(tiao)整。通過調(tiao)整儀器(qi)內部的(de)校(xiao)準(zhun)參(can)數(shu),使儀器(qi)的(de)測(ce)量值(zhi)與標(biao)準(zhun)值(zhi)相符(fu)。校準(zhun)過(guo)程應嚴格(ge)按(an)照(zhao)儀(yi)器(qi)的(de)操(cao)作手冊(ce)進(jin)行,確(que)保校(xiao)準(zhun)的(de)準(zhun)確(que)性(xing)。經過(guo)校(xiao)準(zhun)後(hou)的(de)儀(yi)器(qi)才能進行準(zhun)確(que)的(de)測(ce)量工(gong)作(zuo)。

          6.2 測(ce)量(liang)過(guo)程操(cao)作步(bu)驟(zhou)

          1. 參(can)數(shu)設(she)置(zhi):根據被(bei)測(ce)試樣(yang)的(de)估計 d33 常(chang)數大(da)小,選(xuan)擇合(he)適的(de)測(ce)量擋位。如果(guo)估計 d33 常(chang)數較(jiao)大(da),在 100pC/N 以上,可選(xuan)擇 ×1 擋;如果(guo)估計 d33 常(chang)數較(jiao)小,在 100pC/N 以下,可選(xuan)擇 ×0.1 擋。將儀(yi)器(qi)後(hou)面板(ban)上(shang)的(de) “d33 - 力(li)" 選(xuan)擇開(kai)關(guan)置(zhi)於(yu) “d33" 壹側(ce),確(que)保儀(yi)器(qi)處於(yu) d33 常數(shu)測量(liang)模式。

          2. 儀器(qi)預(yu)熱(re):打開(kai)儀(yi)器(qi)電源,讓儀器(qi)通電預(yu)熱(re) 10min。在預(yu)熱(re)過程(cheng)中,儀(yi)器(qi)內部的(de)電子元(yuan)器(qi)件(jian)逐漸達到穩定(ding)工(gong)作(zuo)狀(zhuang)態(tai),能(neng)夠提(ti)高測量的(de)準(zhun)確(que)性(xing)和穩定(ding)性(xing)。預(yu)熱(re)時間結(jie)束(shu)後(hou),儀器(qi)方(fang)可進行準(zhun)確(que)測量(liang)。

          3. 調零(ling)操(cao)作:調(tiao)節(jie)儀(yi)器(qi)前面板(ban)上(shang)的(de)調(tiao)零(ling)旋(xuan)鈕,使面板(ban)表指示在 “0" 與 “ - 0" 之間。調(tiao)零(ling)操(cao)作是(shi)為(wei)了(le)消(xiao)除(chu)儀器(qi)的(de)零(ling)點(dian)漂(piao)移(yi)誤(wu)差,確(que)保測(ce)量結(jie)果(guo)的(de)準(zhun)確(que)性(xing)。在調零(ling)過(guo)程中,要(yao)確(que)保測(ce)量頭沒(mei)有(you)施(shi)加(jia)外力(li),處於(yu)空(kong)載(zai)狀態。

          4. 試(shi)樣(yang)測量(liang):將安(an)裝好(hao)試(shi)樣(yang)的(de)施(shi)力(li)裝置放置(zhi)在儀器(qi)的(de)測(ce)量位置上,輕輕(qing)壓(ya)下測量(liang)頭的(de)膠(jiao)木板,使測(ce)量(liang)探(tan)頭與(yu)試(shi)樣(yang)緊(jin)密(mi)接(jie)觸(chu)。此時(shi),施(shi)力(li)裝置會向試樣(yang)施(shi)加(jia)壹個約 0.25N、頻率(lv)為 110Hz 的(de)低(di)頻交(jiao)變(bian)力(li)。由正(zheng)壓(ya)電效(xiao)應產(chan)生的(de)



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