薄膜(mo)介電常數(shu)及(ji)損(sun)耗(hao)測試儀(yi)的三(san)電極結構(gou)設計

薄膜(mo)介電常數(shu)及(ji)損(sun)耗(hao)測試儀(yi)是壹(yi)款針(zhen)對薄膜(mo)測試的專(zhuan)用設(she)備(bei)，測試薄膜(mo)介電常數(shu)及(ji)損(sun)耗(hao)需(xu)要(yao)特制(zhi)的夾(jia)具(ju)，通過(guo)軟件可(ke)以(yi)采(cai)集(ji)到介損(sun)（tgd）及(ji)介電常數(shu)（ε）器件的介電性能測量與分析，可(ke)測試以(yi)下(xia)參數(shu)隨(sui)頻(pin)率(lv)(f)、電(dian)平(ping)(V)、偏壓(ya)(Vi)的變(bian)化規律(lv)：電容(rong)(C)、電(dian)感(gan)(L)、電阻(R)、電(dian)抗(kang)(X)、阻(zu)抗(kang)(Z)、相(xiang)位角(jiao)(Ø)、電(dian)導(B)、導納(na)(Y)、損(sun)耗(hao)(D)、品質因(yin)數(shu)(Q)等(deng)參數(shu)，同(tong)時計算獲(huo)得反應材(cai)料介電性能的復(fu)介電常數(shu)和(he)損(sun)耗(hao)參數(shu)。

其(qi)采用(yong)了(le)西林電(dian)橋(qiao)的經(jing)典(dian)線路(lu)。主(zhu)要(yao)可(ke)以(yi)測量電(dian)容器(qi)，互(hu)感器，變(bian)壓(ya)器(qi)，各(ge)種(zhong)電(dian)工油及(ji)各(ge)種(zhong)固(gu)體(ti)絕緣材(cai)料在工頻(pin)高壓(ya)下(xia)的介質損(sun)耗(hao)( tgd)和(he)電容(rong)量( Cx)以(yi)，其(qi)測量線(xian)路(lu)采用(yong)“正(zheng)接(jie)法(fa)"即(ji)測量對地絕緣的試品。電(dian)橋由橋(qiao)體(ti)、指(zhi)另儀(yi)、跟蹤器組(zu)成(cheng)，本電橋(qiao)特別(bie)適應測量各(ge)類絕緣油(you)和(he)絕緣材(cai)料的介損(sun)（tgd）及(ji)介電常數(shu)（ε）。

三電極結構(gou)設計：

微調(tiao)千(qian)分尺：微(wei)調千(qian)分尺具(ju)備0.001mm的調(tiao)節(jie)精(jing)度，可(ke)精(jing)細(xi)化調(tiao)節(jie)上(shang)下電(dian)極之(zhi)間(jian)的距(ju)離。

平(ping)行(xing)板(ban)測試電極(ji)：下電(dian)極(ji)固(gu)定(ding)在底部(bu)支撐(cheng)座，上(shang)電極(ji)可(ke)由微(wei)調千(qian)分尺調(tiao)節(jie)行(xing)程(cheng)距(ju)離。上(shang)電極(ji)帶有(you)保護(hu)電極(ji)。

上(shang)電極(ji)片：上(shang)電極(ji)標配(pei)有(you)2mm球頭電極、φ26.8mm圓片電極和(he)φ38mm圓片電極。可(ke)根據樣(yang)品(pin)大(da)小(xiao)隨時更換(huan)。

鎖緊裝置(zhi)：當樣品放入上(shang)下電(dian)極之(zhi)間(jian)後，可(ke)調節(jie)此鎖緊裝置(zhi)，固定(ding)上(shang)下電(dian)極的調(tiao)節(jie)行(xing)程(cheng)。防止(zhi)輕微移動(dong)引起(qi)的刻(ke)度偏差。