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層疊(die)型(xing)壓電陶瓷(ci)及(ji)其制(zhi)造(zao)方(fang)法(fa)、壓電元件和(he)壓電振(zhen)動(dong)裝置與流(liu)程(cheng)
背(bei)景(jing)技(ji)術:
關於壓(ya)電陶瓷(ci),利(li)用由壓電陶瓷(ci)形(xing)成(cheng)的壓(ya)電元件通過(guo)機械(xie)性(xing)位(wei)移(yi)而(er)產(chan)生電荷、或者通(tong)過(guo)電極間的電位差(cha)而(er)產(chan)生(sheng)機械(xie)性(xing)位(wei)移(yi)的(de)性(xing)質(zhi),被(bei)廣泛地(di)用於傳(chuan)感(gan)器、致動(dong)器等中。
作(zuo)為(wei)構成(cheng)壓電元件的壓(ya)電陶瓷(ci)的(de)組成(cheng),廣泛使用(yong)鈦(tai)酸鋯酸鉛(qian)(pb(zr,ti)o3、pzt)及(ji)其固(gu)溶體(ti)。pzt類的(de)壓電陶瓷(ci)具(ju)有(you)以(yi)下優點:由於具(ju)有(you)較高(gao)的居裏(li)溫(wen)度,因此即(ji)使在(zai)高(gao)溫環境(jing)下也(ye)能(neng)夠使(shi)用(yong),並(bing)且(qie)由於具(ju)有(you)較高(gao)的機電耦(ou)合系(xi)數,因(yin)此能(neng)夠對(dui)電能(neng)與(yu)機械(xie)能(neng)高(gao)效(xiao)地(di)進(jin)行轉換。另外(wai),通(tong)過選擇(ze)適(shi)當的(de)組成(cheng),能(neng)夠以(yi)低(di)於(yu)1000℃的(de)溫度進(jin)行燒(shao)制(zhi),因(yin)此具(ju)有(you)能(neng)夠降(jiang)低壓(ya)電元件的制(zhi)造(zao)成(cheng)本的(de)優點。尤(you)其是(shi),在(zai)層(ceng)疊型(xing)壓電陶瓷(ci)中,與(yu)壓(ya)電陶瓷(ci)同時(shi)燒(shao)制(zhi)的(de)內(nei)部(bu)電極中能(neng)夠使(shi)用(yong)減少了鉑或(huo)鈀(ba)等高價(jia)格(ge)材料(liao)的(de)含(han)量的(de)低(di)熔點材料(liao),產(chan)生(sheng)大幅降(jiang)低成(cheng)本的(de)效(xiao)果(guo)。但(dan)是,pzt類的壓(ya)電陶瓷(ci)含(han)有(you)作為(wei)有(you)害物(wu)質(zhi)的鉛(qian),這(zhe)被(bei)視為(wei)問題(ti),希望使用(yong)不含(han)鉛(qian)的(de)壓(ya)電陶瓷(ci)代替(ti)pzt類的(de)壓電陶瓷(ci)。
至(zhi)今為(wei)止(zhi),作(zuo)為(wei)不含(han)鉛(qian)的(de)壓(ya)電陶瓷(ci)的(de)組成(cheng),公開(kai)有(you)堿(jian)金(jin)屬鈮酸鹽((li,na,k)nbo3)類(lei)、鈦(tai)酸鉍鈉(na)((bi0.5na0.5)tio3、bnt)類(lei)、鉍層(ceng)狀化(hua)合物(wu)類(lei)和(he)鎢青銅(tong)類(lei)等各種壓電陶瓷(ci)。其中,堿(jian)金(jin)屬鈮酸鹽類(lei)的(de)壓電陶瓷(ci)由於其居(ju)裏(li)溫度高,機電耦(ou)合系(xi)數比(bi)較大,因此作(zuo)為(wei)代替(ti)pzt類的(de)壓電陶瓷(ci)而(er)受(shou)到關註(zhu).
關於測試疊層(ceng)壓電陶瓷(ci)的(de)設(she)備推(tui)薦(jian)北京(jing)精(jing)科(ke)智(zhi)創科技(ji)的ZJ-5型(xing)多(duo)層壓電測試儀